تعرف على الملحقات الرئيسية لعناصر التسخين المصنوعة من كربيد السيليكون (SiC)، بما في ذلك الأشرطة الألومنيوم والمشابك المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ، لمنع الأعطال وإطالة العمر الافتراضي في الأفران عالية الحرارة.
اكتشف المواصفات الرئيسية لنظام التفريغ في PECVD، بما في ذلك مضخات التوربوموليكولار والمضخات الدوارة ذات الريشة، للحصول على أداء تفريغ عالٍ في مختبرات أشباه الموصلات والبحث العلمي.
تعرف على عملية الترسيب الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD) خطوة بخطوة لترسيب أغشية رقيقة موحدة على ركائز حساسة لدرجة الحرارة في درجات حرارة منخفضة بكفاءة عالية.
اكتشف فوائد الترسيب الكيميائي للبخار بالبلازما عالية الكثافة (HDP-CVD) لطبقات ثاني أكسيد السيليكون، بما في ذلك ملء الفجوات الخالي من الفراغات في الهياكل ذات نسبة الارتفاع إلى العرض العالية والنقاء المحسن لتطبيقات أشباه الموصلات.