تعلم كيفية الحفاظ على ضغط تفريغ مستقر عن طريق إدارة الحمل الغازي وسرعة الضخ. استكشف طرق التحكم مثل صمامات الخنق ووحدات التحكم في التدفق الكتلي (MFCs) لعمليتك.
تعرف على الفحوصات الرئيسية لأنظمة تفريغ MPCVD، بما في ذلك المضخات، والمقاييس، والسدادات، للحفاظ على الضغط الأساسي واستقرار العملية للحصول على نتائج عالية الجودة.
اكتشف المواصفات الرئيسية لنظام التفريغ في PECVD، بما في ذلك مضخات التوربوموليكولار والمضخات الدوارة ذات الريشة، للحصول على أداء تفريغ عالٍ في مختبرات أشباه الموصلات والبحث العلمي.
استكشف القوة الميكانيكية، والخمول الكيميائي، والاستقرار الحراري لأنابيب السيراميك المصنوعة من الألومينا للتطبيقات الصناعية والمخبرية. مثالية للبيئات شديدة التآكل وذات درجة الحرارة العالية.
تعرف على أوقات الوصول إلى التفريغ في نظام ضخ الفراغ، من 7 دقائق للوصول إلى 0.1 تور (Torr) القياسية إلى 4.5 دقيقة باستخدام نافخة جذور (roots blower)، مما يحسن كفاءة المختبر.
اكتشف كيف توفر عناصر التسخين SiC ذات الشكل U توصيلات من جانب واحد، ومقاومة فائقة لدرجات الحرارة تصل إلى 1600 درجة مئوية، ومتانة محسّنة لعمليات الأفران الفعالة.