إن الفرن الأنبوبي ثلاثي المناطق عبارة عن معدات متعددة الاستخدامات مصممة لتطبيقات المعالجة الحرارية الدقيقة مثل التلدين والترسيب الكيميائي للبخار (CVD).ويتميز بثلاث مناطق تسخين يتم التحكم فيها بشكل مستقل، مما يسمح بتوحيد درجة الحرارة بشكل ممتاز والتحكم في التدرج.يمكن للفرن أن يستوعب عينات يصل حجمها إلى 60 مم ويدعم توصيل الغاز في مختلف الضغوط، بما في ذلك الظروف الجوية وشبه الجوية.تشمل القدرات الرئيسية التعامل المرن مع الغاز، والحد الأدنى من توليد الجسيمات، والتوافق مع غازات المعالجة مثل Ar، و4%H2 في Ar، وN2.هذه الميزات تجعله مثاليًا للتطبيقات البحثية والصناعية التي تتطلب بيئات حرارية محكومة.
شرح النقاط الرئيسية:
-
قدرات المعالجة الحرارية المرنة
- الفرن الأنبوبي فرن أنبوبي من 3 مناطق مصمم للتلدين وترسيب البخار الكيميائي (CVD) عند درجات حرارة أقل من 1000 درجة مئوية.
- تتيح ثلاث مناطق تسخين يتم التحكم فيها بشكل مستقل تدرجات درجة حرارة دقيقة، وهو أمر بالغ الأهمية لمعالجة المواد بشكل موحد.
- تشمل الاستخدامات التلبيد بالتفريغ (تحسين كثافة المواد) والتلدين بالتفريغ (تخفيف الضغط وتوحيد البنية المجهرية).
-
مناولة العينة وتوافق الحجم
- تستوعب العينات التي يصل حجمها إلى 60 مم (2 بوصة)، وهي مناسبة للتجارب الصغيرة والمتوسطة الحجم.
- تقلل التصاميم العمودية من توليد الجسيمات، بينما تعزز أنظمة نقل الرقاقات/القارب الأوتوماتيكية من الإنتاجية.
-
نظام توصيل الغاز المتقدم
- مجهز بمشعب لإدخال غازات المعالجة/الغازات الحادة (على سبيل المثال، Ar، 4%H2 في Ar، N2) عند الضغط الجوي أو تحت الغلاف الجوي.
- يضمن التوافق مع أنبوب الكوارتز الخمول الكيميائي والاستقرار في درجات الحرارة العالية.
-
التحكم في درجة الحرارة والغلاف الجوي
- توزيع ممتاز لدرجات الحرارة عبر المناطق، وهو أمر بالغ الأهمية للحصول على نتائج متسقة في تركيب المواد.
- يدعم المعالجة بالتفريغ أو المعالجة في جو متحكم فيه، مما يتيح المعالجات الحساسة للأكسدة.
-
المكونات الرئيسية وميزات السلامة
- نظام تسخين:عناصر المقاومة الكهربائية (مثل SiC، MoSi2) لاستخدام الطاقة بكفاءة.
- التبريد:مجففات لنقل العينات بأمان بعد التسخين ومنع التلوث.
- التحكم:تعمل أنظمة PID/PLC على أتمتة ملفات تعريف درجة الحرارة وتسلسلات المعالجة.
هذه الإمكانيات تجعل الفرن الأنبوبي ثلاثي المناطق لا غنى عنه للمختبرات والصناعات التي تركز على تطوير المواد المتقدمة ومعالجة أشباه الموصلات والمعالجات الحرارية الدقيقة.يلبي تصميمه المعياري ومرونته الغازية الاحتياجات البحثية المتطورة مع ضمان قابلية التكرار.
جدول ملخص:
| الميزة | الوصف |
|---|---|
| مناطق تدفئة | ثلاث مناطق يتم التحكم فيها بشكل مستقل للحصول على تدرجات حرارة دقيقة. |
| حجم العينة | يستوعب العينات حتى 60 مم (2 بوصة). |
| توصيل الغاز | يدعم Ar، و4%H2 في Ar، N2 عند الضغط الجوي/دون الجوي. |
| التحكم في درجة الحرارة | انتظام ممتاز لتخليق المواد بشكل متسق. |
| التطبيقات | التلدين، والتحميض القابل للذوبان، والتلبيد بالتفريغ، والمعالجات الحساسة للأكسدة. |
| السلامة والأتمتة | أنظمة PID/PLC، والمجففات، وأنبوب الكوارتز الخامل للتشغيل الموثوق. |
قم بترقية مختبرك بالمعالجة الحرارية الدقيقة!
يوفر الفرن الأنبوبي ثلاثي المناطق من KINTEK تحكمًا لا مثيل له في درجة الحرارة، ومرونة الغاز، وتسخينًا موحدًا - مثاليًا لأبحاث المواد المتقدمة وتطبيقات أشباه الموصلات.يضمن البحث والتطوير الداخلي والتخصيص العميق لدينا تلبية احتياجاتك التجريبية الفريدة من نوعها.
اتصل بنا اليوم
لمناقشة كيف يمكن لحلول الأفران عالية الحرارة التي نقدمها أن تعزز سير عملك.
المنتجات التي قد تبحث عنها
نوافذ مراقبة ذات درجة حرارة عالية لأنظمة التفريغ
صمامات تفريغ كروية موثوقة للتحكم في الغازات
عناصر تسخين كربيد السيليكون للمعالجة الحرارية الفعالة
مغذيات أقطاب كهربائية دقيقة للتطبيقات عالية التفريغ
أنظمة MPCVD لتخليق الماس
