CVD & PECVD Furnace
آلة فرن أنبوب CVD متعدد مناطق التسخين الذاتي CVD لمعدات ترسيب البخار الكيميائي
رقم العنصر : KT-CTF14
السعر يتغير بناءً على المواصفات والتخصيصات
- درجة الحرارة القصوى
- 1400℃
- منطقة التدفئة
- 2 × 450 مم
- دقة التحكم في درجة الحرارة
- ±1℃
الشحن:
اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
اكتشف أفران KINTEK الأنبوبية المتطورة متعددة المناطق ذات التفريغ القابل للتبريد القابل للتبريد المركزي
في KINTEK، نستفيد في KINTEK من البحث والتطوير الاستثنائي والتصنيع الداخلي لتزويد المختبرات المتنوعة بحلول أفران متقدمة عالية الحرارة. لقد صُممت أفراننا الأنبوبية متعددة المناطق ذات التفريغ القابل للتبريد القابل للتبريد CVD متعددة المناطق من أجل الدقة والموثوقية والقدرة على التكيف، مما يعزز عمليات البحث والإنتاج.
عرض المنتج: فرن أنبوب CVD الأنبوبي متعدد مناطق التسخين
رسم تخطيطي لهيكل غرفة التفاعل النموذجي لمعدات PECVD الأنبوبية PECVD 1. فتحة العادم ； 2. شفة نهاية الذيل ； 3. شفة تبريد ماء الذيل ； 4. شفة ختم الذيل ； 5. شفة تثبيت الذيل ； 6. قضيب القطب ； 7. قارب الجرافيت ； 8. أنبوب فرن الكوارتز ； 9. شفة التثبيت الأمامية ； 10. شفة تبريد المياه الأمامية ； 11. شفة مدخل الهواء الأمامية ；12. باب الفرن
ما هو فرن أنبوب الترسيب الكيميائي CVD متعدد المناطق؟
الفرن الأنبوبي للترسيب الكيميائي بالبخار متعدد المناطق (CVD) هو عبارة عن معدات مختبرية متخصصة مصممة لترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز من خلال التفاعلات الكيميائية للغازات أو الأبخرة. وتكمن الميزة الحاسمة للتصميم "متعدد المناطق" في مناطق التسخين المتعددة التي يتم التحكم فيها بشكل مستقل. ويسمح ذلك بمعالجة دقيقة لملف درجة الحرارة داخل الفرن، وهو عامل حاسم في العديد من عمليات التفريغ القابل للسحب القابل للذوبان في الماء حيث تؤثر درجة الحرارة بشكل مباشر على خصائص الفيلم المترسب. هذه الأفران لا غنى عنها في كل من الأبحاث والتطوير المتطورة وتطبيقات الإنتاج الصعبة.
لماذا تختار أفران KINTEK متعددة المناطق CVD؟
صُممت أفران KINTEK الأنبوبية متعددة المناطق CVD الأنبوبية متعددة المناطق لتقديم أداء فائق وقدرة على التكيف مع عملياتك الحرجة. إليك كيفية تمكيننا لعملك:
- دقة درجة حرارة لا مثيل لها: تسمح مناطق التسخين المستقلة بإنشاء مجالات درجة حرارة ثابتة ممتدة أو تدرجات حرارة ثابتة يتم التحكم فيها بدقة، وهي ضرورية للترسيب الموحد وتركيب المواد المتخصصة.
- تحكم متقدم في العملية: يضمن التحكم في درجة الحرارة القابل للبرمجة PID دقة ممتازة. إلى جانب قدرات التحكم عن بُعد والمركزية، يمكنك الحصول على المرونة وسهولة المراقبة.
- توصيل غاز مستقر ودقيق: تضمن مقاييس التدفق الكتلي MFC (وحدة التحكم في التدفق الكتلي) عالية الدقة (MFC) سرعات دقيقة ومستقرة لتزويد الغاز، بما في ذلك خيارات للخلط المسبق للغازات المصدر، وهو أمر حيوي لجودة غشاء متناسقة.
- بيئة موثوقة عالية التفريغ: تضمن حواف التفريغ القوية المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ مع منافذ تكييف مختلفة إحكامًا ممتازًا وتحقيق درجات تفريغ عالية ضرورية لعمليات التفريغ الذاتي الحساسة والحفاظ عليها.
- تشغيل سهل الاستخدام وتحليل البيانات: موديلات مختارة، مثل KT-CTF14 Pro، تتميز بشاشة تحكم تعمل باللمس TFT مقاس 7 بوصة، مما يبسط إعداد البرنامج ويتيح سهولة تحليل البيانات التاريخية.
- تعدد الاستخدامات للتطبيقات المتنوعة: لا تقتصر أفراننا على أفران CVD؛ فهي مثالية أيضًا للانتشار والتلدين والتلبيد والمعالجات الحرارية الأخرى تحت التفريغ أو الأجواء الخاضعة للتحكم.
- تصميم موفر للطاقة: تتميز أفراننا بعزل عالي الجودة من ألياف السيراميك وهيكل مزدوج الطبقات، مما يقلل من فقدان الحرارة، ويقلل من درجات الحرارة الخارجية ويوفر الطاقة.
- مواد متينة وقابلة للتخصيص: تتوفر أنابيب الأفران بمواد مختلفة مثل الفولاذ المقاوم للحرارة وزجاج الكوارتز عالي النقاء والسيراميك لتناسب البيئات الكيميائية المتنوعة ومتطلبات درجات الحرارة.
مبدأ التشغيل
يستخدم فرن أنبوب CVD الأنبوبي متعدد مناطق التسخين المتعدد المناطق عملية ترسيب البخار الكيميائي (CVD) لترسيب الأغشية الرقيقة على الركائز. يتم إدخال السلائف الغازية، وهي عادةً مركبات معدنية عضوية و/أو هيدرات، في غرفة الفرن. وتتفاعل هذه السلائف كيميائياً عند درجات حرارة مضبوطة لتشكيل مادة غشاء صلب على الركيزة. وتتيح مناطق التسخين المتعددة للفرن التحكم الدقيق في درجة حرارة الترسيب وتدرج درجة الحرارة عبر الركيزة، مما يسمح بترسيب أغشية عالية الجودة بخصائص مصممة خصيصًا مثل السماكة والتركيب والتبلور. كما تم دمج نظام تفريغ الهواء لإزالة الشوائب والتحكم في ضغط الترسيب، مما يضمن ظروف عملية مثالية.
التطبيقات
تُستخدم أفراننا الأنبوبية متعددة مناطق التسخين CVD متعددة المناطق على نطاق واسع في مختلف المجالات المتقدمة، بما في ذلك:
- ترسيب البخار الكيميائي (CVD): نمو الأغشية الرقيقة للأجهزة الإلكترونية وأشباه الموصلات والخلايا الشمسية والطلاءات والمواد النانوية.
- الانتشار: التطعيم الدقيق لأشباه الموصلات والمعادن.
- التلدين: المعالجة الحرارية للمواد لتعزيز خصائصها الهيكلية والفيزيائية.
- التلبيد: ربط المواد المسحوقة من خلال الحرارة والضغط المتحكم فيهما لتشكيل هياكل صلبة.
- المعالجة الحرارية: مجموعة واسعة من عمليات التسخين والتبريد المتحكم فيها لأبحاث المواد وتعديلها.
- تحليل العناصر وتحديدها: تحضير العينات للأغراض التحليلية.
- معالجة المواد: تبريد وتلدين وتلطيف قطع الفولاذ الصغيرة، وتطوير السيراميك الإلكتروني، وغيرها من المواد الجديدة.
المواصفات الفنية
| طراز الفرن | KT-CTF14-60 |
|---|---|
| درجة الحرارة القصوى | 1400℃ |
| درجة حرارة عمل ثابتة | 1300℃ |
| مادة أنبوب الفرن | أنبوب Al2O3 عالي النقاء |
| قطر أنبوب الفرن | 60 مم |
| منطقة التسخين | 2 × 450 مم |
| مادة الغرفة | ألياف الألومينا متعددة الكريستالات |
| عنصر التسخين | كربيد السيليكون |
| معدل التسخين | 0-10 ℃/دقيقة |
| الزوج الحراري | نوع S |
| وحدة تحكم في درجة الحرارة | جهاز تحكم رقمي PID/جهاز تحكم PID بشاشة تعمل باللمس |
| دقة التحكم في درجة الحرارة | ±1℃ |
| وحدة تحكم دقيقة في الغاز | |
| مقياس التدفق | مقياس التدفق الكتلي MFC |
| قنوات الغاز | 4 قنوات |
| معدل التدفق |
mfc1: 0-5sccm o2
mfc2: 0-20scmch4 mfc3: 0- 100 sccm h2 mfc4: 0-500 sccm n2 |
| الخطية | ± 0.5٪ ف.س. |
| التكرار | ± 0.2٪ ف.س. |
| خط الأنابيب والصمام | الفولاذ المقاوم للصدأ |
| ضغط التشغيل الأقصى | 0.45 ميجا باسكال |
| وحدة تحكم في مقياس التدفق | وحدة تحكم رقمية بمقبض رقمي/وحدة تحكم بشاشة تعمل باللمس |
| وحدة تفريغ قياسية (اختياري) | |
| مضخة تفريغ | مضخة تفريغ ذات ريشة دوارة |
| معدل تدفق المضخة | 4 لتر/ثانية |
| منفذ شفط التفريغ | KF25 |
| مقياس التفريغ | مقياس تفريغ بيرانى/مقياس تفريغ السيليكون |
| ضغط التفريغ المقدر | 10 باسكال |
| وحدة تفريغ عالية التفريغ (اختياري) | |
| مضخة تفريغ | مضخة دوارة ريشة دوارة + مضخة جزيئية |
| معدل تدفق المضخة | 4 لتر/ثانية + 110 لتر/ثانية |
| منفذ شفط التفريغ | KF25 |
| مقياس التفريغ | مقياس التفريغ المركب |
| ضغط التفريغ المقدر | 6×10-5 باسكال |
| يمكن تخصيص المواصفات والإعدادات المذكورة أعلاه | |
الحزمة القياسية
| رقم العبوة | الوصف | الكمية |
|---|---|---|
| 1 | فرن | 1 |
| 2 | أنبوب كوارتز (أو مادة أخرى حسب الطلب) | 1 |
| 3 | طقم شفة تفريغ الهواء | 2 |
| 4 | كتلة حرارية أنبوبية | 2 |
| 5 | خطاف الكتلة الحرارية الأنبوبية | 1 |
| 6 | قفاز مقاوم للحرارة | 1 |
| 7 | وحدة تحكم دقيقة في الغاز (إذا تم طلبها) | 1 |
| 8 | وحدة التفريغ (إذا تم طلبها) | 1 |
| 9 | دليل التشغيل | 1 |
التخصيص العميق لاحتياجاتك الفريدة
تتفوق KINTEK في توفير حلول أفران مخصصة بعمق لتلبية المتطلبات التجريبية والإنتاجية الفريدة بدقة. بالإضافة إلى تكويناتنا القياسية، نقدم مجموعة واسعة من الإعدادات والتعديلات الاختيارية:
- الكشف عن الغازات داخل الأنبوب ومراقبتها (على سبيل المثال، H2، O2).
- أنظمة مراقبة وتسجيل درجة حرارة الفرن المستقلة.
- منفذ اتصال RS 485 للتحكم عن بُعد بالكمبيوتر الشخصي وتصدير البيانات.
- خيارات متنوعة للتحكم في معدل تدفق الغاز المغذي للغاز، بما في ذلك مقاييس التدفق الكتلي المختلفة ومقاييس التدفق العائم.
- وحدات تحكم متقدمة في درجة الحرارة بشاشة تعمل باللمس مع واجهات سهلة الاستخدام وقدرات برمجة واسعة النطاق.
- إعدادات شاملة لمحطة مضخة تفريغ عالية التفريغ، تتضمن مضخات تفريغ ريشة ومضخات جزيئية ومضخات انتشار وغيرها.
- أبعاد الفرن المخصصة، وتكوينات منطقة التسخين، وخيارات المواد.
أخبرنا بالتحدي الذي تواجهه، وسنقوم بهندسة الحل.
الشراكة مع KINTEK لحلول درجات الحرارة العالية الخاصة بك
مع وجود أساس قوي في البحث والتطوير والتصنيع الداخلي، تكرس KINTEK جهودها لتزويد المختبرات في جميع أنحاء العالم بأنظمة أفران عالية الحرارة متطورة، بما في ذلك أفران الدثر، والأفران الأنبوبية، والأفران الدوارة، وأفران التفريغ والغلاف الجوي، وأنظمة CVD/PECVD/MPCVD المتخصصة. إن التزامنا بالتخصيص العميق يضمن حصولك على فرن مصمم بشكل مثالي لأهدافك التجريبية المحددة.
هل أنت مستعد للارتقاء بقدراتك في معالجة المواد والقدرات البحثية؟ ناقش متطلباتك مع فريق الخبراء لدينا.
اتصل بنا للحصول على حل مخصص أو عرض أسعار
FAQ
ما هو الفرن الأنبوبي وكيف يعمل؟
ما هي التطبيقات الرئيسية للأفران الأنبوبية متعددة المناطق؟
ما هو الفرن الأنبوبي العمودي؟
ما هو فرن الحث الفراغي؟
ما هي التطبيقات الرئيسية لفرن التفريغ؟
فيمَ يُستخدم فرن الغلاف الجوي؟
ما هي التطبيقات الرئيسية للأفران الأنبوبية؟
ما هي الميزات الرئيسية للأفران الأنبوبية متعددة المناطق؟
ما هي تطبيقات الفرن الأنبوبي العمودي؟
ما هي التطبيقات الرئيسية لأفران الحث الفراغية؟
ما هي السمات الرئيسية للفرن المفرغ من الهواء؟
ما هي السمات الرئيسية لفرن الغلاف الجوي؟
ما هي مزايا استخدام الفرن الأنبوبي؟
كيف يعمل الفرن الأنبوبي متعدد المناطق؟
ما هي مزايا الفرن الأنبوبي العمودي؟
كيف يعمل فرن الحث الفراغي؟
كيف يعمل فرن التفريغ؟
كيف يعمل فرن الغلاف الجوي؟
ما أنواع الأفران الأنبوبية المتوفرة؟
ما هي مزايا استخدام الفرن الأنبوبي متعدد المناطق؟
كيف يعمل الفرن الأنبوبي العمودي؟
ما هي مزايا استخدام فرن الحث الفراغي؟
ما هي مزايا استخدام فرن التفريغ؟
ما هي مزايا استخدام فرن الغلاف الجوي؟
ما هي نطاقات درجات الحرارة التي يمكن أن تحققها الأفران الأنبوبية؟
ما أنواع الأفران الأنبوبية متعددة المناطق المتوفرة؟
ما أنواع الأفران الأنبوبية الرأسية المتوفرة؟
ما أنواع أفران التفريغ الحثي المتوفرة؟
ما أنواع المواد التي يمكن معالجتها في فرن التفريغ؟
ما أنواع الغازات التي يمكن استخدامها في فرن الغلاف الجوي؟
هل يمكن أن تعمل الأفران الأنبوبية تحت أجواء مختلفة؟
لماذا تختار الفرن الأنبوبي العمودي بدلاً من الأفقي؟
لماذا يعتبر التحكم في درجة الحرارة مهمًا في أفران الحث بالتفريغ؟
ما هو الفرق بين أفران التفريغ بالجدار الساخن وأفران التفريغ بالجدار البارد؟
ما هي ميزات السلامة المتوفرة في أفران الغلاف الجوي المتقدمة؟
ما الذي يجعل أفران KINTEK الأنبوبية مميزة؟
ما هي درجات الحرارة التي يمكن أن تحققها الأفران الأنبوبية العمودية؟
ما هي المواد التي يمكن معالجتها في فرن التفريغ بالحث؟
هل يمكن تخصيص أفران تفريغ الهواء لتطبيقات محددة؟
هل الأفران الأنبوبية الرأسية قابلة للتخصيص؟
كيف تفيد بيئة التفريغ معالجة المواد؟
4.9
out of
5
Incredible precision and control! The multi-zone heating is a game-changer for our lab.
4.8
out of
5
Fast delivery and flawless setup. This furnace exceeded our expectations!
4.7
out of
5
Worth every penny! The quality and durability are unmatched.
4.9
out of
5
Top-notch technology. The temperature uniformity is perfect for our research.
4.8
out of
5
Efficient and reliable. Our experiments have never been smoother.
4.7
out of
5
Great value for money. The build quality is impressive.
4.9
out of
5
A must-have for any serious lab. The performance is stellar.
4.8
out of
5
Quick setup and easy to use. Highly recommend this furnace!
4.7
out of
5
Durable and efficient. Perfect for high-temperature applications.
4.9
out of
5
The multi-zone feature is revolutionary. Our productivity has soared.
4.8
out of
5
Exceptional craftsmanship. This furnace is built to last.
4.7
out of
5
Reliable and precise. A fantastic investment for any lab.
4.9
out of
5
Cutting-edge technology. The temperature control is impeccable.
4.8
out of
5
Fast shipping and excellent customer service. Very satisfied!
4.7
out of
5
High-quality materials and superb performance. Highly recommend.
4.9
out of
5
The best furnace we've used. The multi-zone heating is brilliant.
4.8
out of
5
Perfect for our CVD needs. The machine is a workhorse.
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
الفرن الأنبوبي الدوار متعدد مناطق التسخين المنفصل متعدد المناطق الدوارة
فرن أنبوبي دوّار دقيق متعدد مناطق التسخين المنفصل متعدد المناطق لمعالجة المواد ذات درجة الحرارة العالية، يتميز بإمالة قابلة للتعديل، ودوران 360 درجة، ومناطق تسخين قابلة للتخصيص. مثالي للمختبرات.
فرن أنبوبة التفريغ CVD ذو الغرفة المنقسمة مع ماكينة التفريغ CVD للمحطة
فرن أنبوبي CVD ذو الغرفة المنقسمة مع محطة تفريغ - فرن مختبري عالي الدقة بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية لأبحاث المواد المتقدمة. حلول قابلة للتخصيص متاحة.
فرن أنبوبي CVD متعدد الاستخدامات مصنوع خصيصًا آلة معدات الترسيب الكيميائي للبخار CVD
يوفر الفرن الأنبوبي CVD الأنبوبي من KINTEK تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة حتى 1600 درجة مئوية، وهو مثالي لترسيب الأغشية الرقيقة. قابل للتخصيص لتلبية الاحتياجات البحثية والصناعية.
فرن أنبوبي كوارتز مختبري أنبوبي التسخين RTP
يوفر فرن أنبوب التسخين السريع RTP من KINTEK تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة، وتسخينًا سريعًا يصل إلى 100 درجة مئوية/ثانية، وخيارات جو متعددة الاستخدامات للتطبيقات المعملية المتقدمة.
الفرن الأنبوبي PECVD الشرائحي PECVD مع ماكينة PECVD الغازية السائلة PECVD
فرن أنبوب KINTEK Slide PECVD الأنبوبي: ترسيب دقيق للأغشية الرقيقة مع بلازما الترددات اللاسلكية والدورة الحرارية السريعة والتحكم في الغاز القابل للتخصيص. مثالي لأشباه الموصلات والخلايا الشمسية.
آلة فرن أنبوب الترسيب الكيميائي المحسَّن بالبلازما الدوارة المائلة PECVD
توفر ماكينة طلاء PECVD من KINTEK أغشية رقيقة دقيقة في درجات حرارة منخفضة لمصابيح LED والخلايا الشمسية و MEMS. حلول قابلة للتخصيص وعالية الأداء.
آلة فرن الضغط الساخن الفراغي فرن أنبوب الضغط الفراغي المسخن
اكتشف فرن KINTEK المتطور للضغط الساخن للأنابيب المفرغة من KINTEK من أجل التلبيد الدقيق بدرجة حرارة عالية والكبس الساخن وربط المواد. حلول قابلة للتخصيص للمختبرات.
فرن أنبوبي تفريغي مختبري عالي الضغط فرن أنبوبي كوارتز أنبوبي
فرن KINTEK الأنبوبي عالي الضغط: تسخين دقيق يصل إلى 1100 درجة مئوية مع التحكم في الضغط بقوة 15 ميجا باسكال. مثالي للتلبيد ونمو البلورات والأبحاث المعملية. حلول قابلة للتخصيص متاحة.
فرن أنبوبي مختبري بدرجة حرارة عالية 1700 ℃ مع أنبوب كوارتز أو ألومينا
فرن KINTEK الأنبوبي مع أنبوب الألومينا: تسخين دقيق يصل إلى 1700 درجة مئوية لتخليق المواد، والتحميض القابل للذوبان والتلبيد. مدمج وقابل للتخصيص وجاهز للتفريغ. استكشف الآن!
فرن الأنبوب الدوار المائل الدوار للمختبر فرن الأنبوب الدوار المائل للمختبر
فرن KINTEK المختبري الدوار: تسخين دقيق للتكليس والتجفيف والتلبيد. حلول قابلة للتخصيص مع تفريغ الهواء والغلاف الجوي المتحكم فيه. تعزيز البحث الآن!
عناصر التسخين الحراري من كربيد السيليكون SiC للفرن الكهربائي
عناصر تسخين عالية الأداء من SiC للمختبرات، توفر دقة تتراوح بين 600 و1600 درجة مئوية، وكفاءة في استهلاك الطاقة، وعمر افتراضي طويل. تتوفر حلول قابلة للتخصيص.
فرن الأنبوب الدوَّار الأنبوبي الدوَّار المحكم الغلق بالتفريغ المستمر
فرن أنبوبي دوّار دقيق للمعالجة المستمرة بالتفريغ. مثالي للتكلس والتلبيد والمعالجة الحرارية. قابل للتخصيص حتى 1600 درجة مئوية.
آلة فرن ضغط الهواء الساخن للتغليف والتسخين بالتفريغ
مكبس التصفيح بالتفريغ KINTEK: ربط دقيق للرقائق، والأغشية الرقيقة وتطبيقات LCP. 500 درجة حرارة قصوى 500 درجة مئوية، ضغط 20 طن، معتمدة من CE. حلول مخصصة متاحة.
فرن المعالجة الحرارية بالتفريغ الهوائي الصغير وفرن تلبيد أسلاك التنجستن
فرن تلبيد أسلاك التنغستن بالتفريغ المدمج للمختبرات. تصميم دقيق ومتنقل مع سلامة تفريغ فائقة. مثالي لأبحاث المواد المتقدمة. اتصل بنا!
مجموعة ختم القطب الكهربي للتفريغ بشفة CF KF شفة التفريغ الكهربائي لأنظمة التفريغ
مغذي قطب تفريغ شفة CF/KF موثوق به لأنظمة التفريغ عالية الأداء. يضمن إحكامًا فائقًا وموصلية ومتانة فائقة. خيارات قابلة للتخصيص متاحة.
آلة فرن الضغط الساخن الفراغي آلة فرن الضغط الساخن المسخنة بالفراغ
فرن الكبس الساخن بالتفريغ من KINTEK: تسخين وكبس دقيق لكثافة فائقة للمواد. قابل للتخصيص حتى 2800 درجة مئوية، مثالي للمعادن والسيراميك والمواد المركبة. استكشف الميزات المتقدمة الآن!
فراغ عالي للغاية من الفولاذ المقاوم للصدأ KF ISO ISO CF شفة أنبوب مستقيم أنبوب مستقيم عبر المحملة
KF/ISO/CF أنظمة أنابيب شفة الفولاذ المقاوم للصدأ ذات التفريغ الفائق للتطبيقات الدقيقة. قابلة للتخصيص ومتينة ومانعة للتسرب. احصل على حلول الخبراء الآن!
فرن التلبيد بالبلازما الشرارة SPS
اكتشف فرن التلبيد بالبلازما الشرارة (SPS) المتطور من KINTEK لمعالجة المواد بسرعة ودقة. حلول قابلة للتخصيص للأبحاث والإنتاج.
نظام الترسيب الكيميائي المعزز بالبخار المعزز بالبلازما بالترددات الراديوية PECVD
نظام KINTEK RF PECVD: ترسيب دقيق للأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات والبصريات وأجهزة MEMS. عملية مؤتمتة ذات درجة حرارة منخفضة مع جودة رقيقة فائقة. حلول مخصصة متاحة.