CVD & PECVD Furnace
الفرن الأنبوبي PECVD الشرائحي PECVD مع ماكينة PECVD الغازية السائلة PECVD
رقم العنصر : KT-PE12
السعر يتغير بناءً على المواصفات والتخصيصات
- درجة الحرارة القصوى
- 1200℃
- طاقة خرج بلازما التردد اللاسلكي
- 5-500W
- ضغط التفريغ المقدر
- 10Pa ~ 6x10-10-4Pa
الشحن:
اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
فتح الترسيب الدقيق للأغشية الرقيقة
إن فرن KINTEK الأنبوبي المنزلق PECVD المزود بجهاز ترسيب الغاز السائل هو نظام متطور مصمم لترسيب الأغشية الرقيقة متعدد الاستخدامات وعالي الأداء. تم تصميمه لتلبية المتطلبات الصارمة للأبحاث والإنتاج الحديث، فهو يجمع بين مصدر بلازما 500 واط من الترددات اللاسلكية وفرن منزلق مبتكر للدوران الحراري السريع والتحكم الدقيق في تدفق الغاز ومحطة تفريغ قوية. سواء كان ذلك للإلكترونيات أو أشباه الموصلات أو البصريات أو علوم المواد المتقدمة، فإن هذا النظام يقدم نتائج استثنائية وموثوقية استثنائية. في KINTEK، نستفيد من خبرتنا الاستثنائية في مجال البحث والتطوير والتصنيع الداخلي لتوفير حلول أفران متقدمة مثل هذه، ونقدم تخصيصًا عميقًا قويًا وعميقًا لتلبية متطلباتك التجريبية الفريدة بدقة.
الميزات والفوائد الرئيسية
يوفر فرن أنبوب PECVD الأنبوبي الشرائحي المزود بآلة PECVD الغازي السائل العديد من المزايا لتعزيز أبحاثك وإنتاجك:
- توليد الطاقة المحسّن: يعمل هيكل قارب الجرافيت المبتكر على تحسين إنتاج الطاقة لرقائق الخلايا الشمسية بشكل كبير.
- جودة خلية موحدة: تقضي بشكل فعال على الاختلافات اللونية في الخلايا الأنبوبية PECVD، مما يضمن نتائج متسقة.
- مصدر بلازما التردد اللاسلكي متعدد الاستخدامات: يتميز بمصدر بلازما التردد اللاسلكي المطابق التلقائي مع نطاق طاقة خرج واسع (5-500 واط) لأداء مستقر وقابل للتكيف عبر مختلف التطبيقات.
- تدوير حراري سريع: يتيح نظام انزلاق حجرة الفرن إمكانية التسخين والتبريد بسرعة عالية، مما يقلل بشكل كبير من وقت المعالجة. يزيد دوران الهواء القسري الإضافي من سرعة معدل التبريد.
- التشغيل الآلي: تعزز حركة الانزلاق الآلية الاختيارية من الكفاءة وتقلل من التدخل اليدوي لسير العمل بشكل مبسط.
- إدارة دقيقة لدرجة الحرارة: يضمن التحكم في درجة الحرارة القابل للبرمجة PID تنظيم دقيق لدرجة الحرارة. يدعم التحكم عن بُعد والمركزي لمزيد من الراحة والمرونة التشغيلية.
- تحكم دقيق في الغاز: مقاييس التدفق الكتلي MFC عالية الدقة تتحكم بدقة في الغازات المصدر، مما يضمن إمداد غاز مستقر ومتسق ومختلط مسبقًا.
- نظام تفريغ عالي الأداء: تستوعب شفة التفريغ المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ مع منافذ تكييف متعددة تكوينات مختلفة لمحطة مضخة التفريغ، مما يضمن درجة تفريغ عالية وإحكام إحكام موثوق به.
- واجهة سهلة الاستخدام: مجهز بوحدة تحكم CTF Pro بشاشة TFT تعمل باللمس مقاس 7 بوصة، مما يبسط إعداد البرنامج والتشغيل ويسمح بتحليل البيانات التاريخية بسهولة.
تطبيقات متعددة الاستخدامات
يُعد فرن أنبوب PECVD الأنبوبي الشرائحي PECVD مع آلة PECVD الغازي السائل مثاليًا لمجموعة كبيرة من التطبيقات، بما في ذلك:
- ترسيب البخار الكيميائي (CVD)
- ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما (PECVD)
- ترسيب الأغشية الرقيقة لمختلف المواد
- تصنيع وأبحاث الخلايا الشمسية
- معالجة أشباه الموصلات
- أبحاث تكنولوجيا النانو وتطويرها
- دراسات علوم المواد المتقدمة
- البحث والتطوير العام في الأجواء المتحكم بها
استكشف تكوينات نظامنا
تقدم KINTEK العديد من إعدادات نظام CVD لتلبية الاحتياجات التجريبية المتنوعة. فيما يلي أمثلة على التكوينات المتاحة:
مبدأ التشغيل
يستخدم فرن أنبوب PECVD المنزلق PECVD المزود بفرن أنبوبي مزدوج مع جهاز تفريغ سائل PECVD PECVD بلازما بدرجة حرارة منخفضة لتوليد تفريغ توهج في كاثود غرفة المعالجة (صينية العينة). يرفع التفريغ المتوهج (أو مصدر حرارة آخر) درجة حرارة العينة إلى مستوى محدد مسبقًا. بعد ذلك، يتم إدخال كميات محكومة من غاز المعالجة، مما يؤدي إلى تفاعلات كيميائية وبلازمية لتشكيل طبقة صلبة على سطح العينة.
مزايا السلامة المدمجة
- الحماية من التيار الزائد ودرجة الحرارة الزائدة: تم تجهيز الفرن بوظائف الحماية من التيار الزائد ووظائف الإنذار من الحرارة الزائدة، مما يؤدي إلى إيقاف تشغيل الطاقة تلقائيًا إذا تم تجاوز الحدود.
- كشف فشل المزدوجة الحرارية: ستتوقف وظيفة الكشف عن المزدوجة الحرارية المدمجة عن التسخين وتطلق إنذارًا إذا تم اكتشاف مزدوجة حرارية مكسورة أو فاشلة، مما يمنع التسخين غير المنضبط.
- وظيفة إعادة تشغيل انقطاع التيار الكهربائي: تدعم وحدة التحكم PE Pro وظيفة إعادة تشغيل انقطاع التيار الكهربائي، مما يسمح للفرن باستئناف برنامج التسخين تلقائيًا بمجرد استعادة الطاقة بعد انقطاع التيار الكهربائي.
المواصفات الفنية
| طراز الفرن | KT-PE12-60 |
| درجة الحرارة القصوى | 1200℃ |
| درجة حرارة عمل ثابتة | 1100℃ |
| مادة أنبوب الفرن | كوارتز عالي النقاء |
| قطر أنبوب الفرن | 60 مم |
| طول منطقة التسخين | 1 × 450 مم |
| مادة الغرفة | ألياف الألومينا اليابانية |
| عنصر التسخين | لفائف أسلاك Cr2Al2Mo2 |
| معدل التسخين | 0-20 ℃/دقيقة |
| زوج حراري | بناء في نوع K |
| جهاز التحكم في درجة الحرارة | جهاز تحكم رقمي PID/جهاز تحكم PID بشاشة تعمل باللمس |
| دقة التحكم في درجة الحرارة | ±1℃ |
| مسافة الانزلاق | 600 مم |
| وحدة بلازما التردد اللاسلكي | |
| طاقة الإخراج | 5 -500 واط قابلة للتعديل مع ثبات ± 1% |
| تردد التردد اللاسلكي | 13.56 ميجا هرتز ± 0.005% ثبات |
| طاقة الانعكاس | 350 واط كحد أقصى |
| مطابقة | تلقائي |
| الضوضاء | |
| التبريد | تبريد الهواء |
| وحدة تحكم دقيقة في الغاز | |
| مقياس التدفق | مقياس التدفق الكتلي MFC |
| قنوات الغاز | 4 قنوات |
| معدل التدفق |
mfc1: 0-5sccm o2
mfc2: 0-20scmch4 mfc3: 0- 100 sccm h2 mfc4: 0-500 sccm n2 |
| الخطية | ± 0.5٪ ف.س. |
| التكرار | ± 0.2٪ ف.س. |
| خط الأنابيب والصمام | الفولاذ المقاوم للصدأ |
| ضغط التشغيل الأقصى | 0.45 ميجا باسكال |
| وحدة تحكم في مقياس التدفق | جهاز تحكم رقمي بمقبض رقمي/جهاز تحكم بشاشة تعمل باللمس |
| وحدة تفريغ قياسية (اختياري) | |
| مضخة تفريغ | مضخة تفريغ ذات ريشة دوارة |
| معدل تدفق المضخة | 4 لتر/ثانية |
| منفذ شفط التفريغ | KF25 |
| مقياس التفريغ | مقياس تفريغ بيرانى/مقياس تفريغ السيليكون |
| ضغط التفريغ المقدر | 10 باسكال |
| وحدة تفريغ عالية التفريغ (اختياري) | |
| مضخة تفريغ | مضخة دوارة ريشة دوارة + مضخة جزيئية |
| معدل تدفق المضخة | 4 لتر/ثانية + 110 لتر/ثانية |
| منفذ شفط التفريغ | KF25 |
| مقياس التفريغ | مقياس التفريغ المركب |
| ضغط التفريغ المقدر | 6×10-4 باسكال |
| يمكن تخصيص المواصفات والإعدادات المذكورة أعلاه | |
محتويات العبوة القياسية
| لا يوجد | الوصف | الكمية |
| 1 | فرن | 1 |
| 2 | أنبوب كوارتز | 1 |
| 3 | شفة تفريغ الهواء | 2 |
| 4 | كتلة حرارية أنبوبية | 2 |
| 5 | خطاف الكتلة الحرارية الأنبوبية | 1 |
| 6 | قفاز مقاوم للحرارة | 1 |
| 7 | مصدر بلازما الترددات اللاسلكية | 1 |
| 8 | تحكم دقيق في الغاز | 1 |
| 9 | وحدة تفريغ الهواء | 1 |
| 10 | دليل التشغيل | 1 |
التخصيص والإعدادات الاختيارية
نفخر في KINTEK بقدرتنا القوية على التخصيص العميق. يمكننا تخصيص فرن أنبوب PECVD المنزلق PECVD لتلبية متطلباتك التجريبية الفريدة بدقة. تشمل الإعدادات الاختيارية المتاحة ما يلي:
- الكشف عن الغاز داخل الأنبوب ومراقبته (على سبيل المثال، H2، O2)
- أنظمة مستقلة لمراقبة درجة حرارة الفرن وتسجيلها
- منفذ اتصال RS 485 للتحكم عن بُعد بالكمبيوتر الشخصي وتصدير البيانات
- التحكم في معدل تدفق الغاز المغذي للغاز حسب الطلب (مقاييس التدفق الكتلي أو مقاييس التدفق العائم)
- وحدة تحكم متقدمة في درجة الحرارة بشاشة تعمل باللمس مع وظائف متعددة الاستخدامات وسهلة الاستخدام للمشغل
- إعدادات مختلفة لمحطة مضخة التفريغ العالي (على سبيل المثال، مضخة تفريغ ريشة، مضخة جزيئية، مضخة انتشار)
الشراكة مع KINTEK لتلبية احتياجاتك من الأفران المتقدمة
صُمم فرن KINTEK الأنبوبي الشرائحي PECVD من KINTEK من أجل القدرة على التكيف والأداء العالي. نحن نتفهم أن بحثك فريد من نوعه. استفد من قدرات التخصيص العميقة القوية لدينا لتكييف هذا النظام وفقًا لمواصفاتك الدقيقة. سواء كنت بحاجة إلى نطاقات درجات حرارة مختلفة، أو تكوينات غاز محددة، أو ميزات تحكم متقدمة، أو إعدادات تفريغ فريدة من نوعها، فإن فريق الخبراء لدينا مستعد لمساعدتك.
هل أنت مستعد لرفع مستوى بحثك أو إنتاجك؟ ناقش متطلباتك مع خبرائنا واحصل على عرض أسعار مخصص. يُرجى ملء نموذج الاتصال الخاص بنا وسيتواصل معك أحد المتخصصين لدينا قريبًا لمساعدتك في تكوين حل PECVD المثالي!
FAQ
ما هو الفرن الأنبوبي وكيف يعمل؟
ما هي التطبيقات الرئيسية للأفران الأنبوبية متعددة المناطق؟
ما هو مبدأ ماكينة التفريغ المقطعي الذاتي CVD؟
ما هي التطبيقات الشائعة للأفران الأنبوبية المنقسمة؟
ما هو الفرن الأنبوبي العمودي؟
ما هي التطبيقات الرئيسية للأفران الأنبوبية؟
ما هي الميزات الرئيسية للأفران الأنبوبية متعددة المناطق؟
ما هي مزايا استخدام ماكينة CVD؟
ما هي السمات الرئيسية للفرن الأنبوبي المنفصل؟
ما هي تطبيقات الفرن الأنبوبي العمودي؟
ما هي مزايا استخدام الفرن الأنبوبي؟
كيف يعمل الفرن الأنبوبي متعدد المناطق؟
ما هي استخدامات آلة التفريغ القابل للذوبان CVD؟
كيف يعمل فرن الأنبوب المنفصل؟
ما هي مزايا الفرن الأنبوبي العمودي؟
ما أنواع الأفران الأنبوبية المتوفرة؟
ما هي مزايا استخدام الفرن الأنبوبي متعدد المناطق؟
ما هي السمات الرئيسية لماكينة CVD؟
ما هي مزايا استخدام الفرن الأنبوبي المنفصل؟
كيف يعمل الفرن الأنبوبي العمودي؟
ما هي نطاقات درجات الحرارة التي يمكن أن تحققها الأفران الأنبوبية؟
ما أنواع الأفران الأنبوبية متعددة المناطق المتوفرة؟
ما هي أنواع ماكينات التفريغ القابل للسحب بالأشعة القلبية CVD المتوفرة؟
ما درجة الحرارة التي يمكن أن يصل إليها فرن الأنبوب المنفصل؟
ما أنواع الأفران الأنبوبية الرأسية المتوفرة؟
هل يمكن أن تعمل الأفران الأنبوبية تحت أجواء مختلفة؟
لماذا يعتبر التصميم المنفصل مفيدًا في الفرن الأنبوبي؟
لماذا تختار الفرن الأنبوبي العمودي بدلاً من الأفقي؟
ما الذي يجعل أفران KINTEK الأنبوبية مميزة؟
ما هي درجات الحرارة التي يمكن أن تحققها الأفران الأنبوبية العمودية؟
هل الأفران الأنبوبية الرأسية قابلة للتخصيص؟
4.9
out of
5
Incredible precision and efficiency! This machine has revolutionized our lab workflow.
4.8
out of
5
Fast delivery and top-notch quality. Worth every penny for advanced research.
4.7
out of
5
The durability is unmatched. A reliable workhorse for high-temperature applications.
4.9
out of
5
Cutting-edge technology with seamless integration. Highly recommended for serious labs.
4.8
out of
5
Exceptional value for money. The liquid gasifier feature is a game-changer.
4.9
out of
5
Superior build quality and performance. Exceeded all our expectations.
4.7
out of
5
Easy to operate and maintain. Perfect for both beginners and experts.
4.8
out of
5
Fast setup and outstanding results. A must-have for any advanced lab.
4.9
out of
5
The technological advancement is mind-blowing. Delivered ahead of schedule!
4.8
out of
5
Robust and reliable. Perfect for continuous high-performance tasks.
4.9
out of
5
Precision engineering at its finest. Our experiments have never been smoother.
4.7
out of
5
Great investment for any lab. The quality speaks for itself.
4.8
out of
5
Innovative design and flawless performance. A standout in its category.
4.9
out of
5
The speed and accuracy are unparalleled. A true technological marvel.
4.7
out of
5
User-friendly and highly efficient. Perfect for complex applications.
4.8
out of
5
Outstanding durability and performance. Delivered faster than expected.
4.9
out of
5
A masterpiece of engineering. The liquid gasifier is a brilliant addition.
4.7
out of
5
Consistent results every time. A reliable partner for advanced research.
4.8
out of
5
Exceptional build and innovative features. A top-tier machine for any lab.
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
آلة فرن أنبوب الترسيب الكيميائي المحسَّن بالبلازما الدوارة المائلة PECVD
توفر ماكينة طلاء PECVD من KINTEK أغشية رقيقة دقيقة في درجات حرارة منخفضة لمصابيح LED والخلايا الشمسية و MEMS. حلول قابلة للتخصيص وعالية الأداء.
الفرن الأنبوبي الدوار متعدد مناطق التسخين المنفصل متعدد المناطق الدوارة
فرن أنبوبي دوّار دقيق متعدد مناطق التسخين المنفصل متعدد المناطق لمعالجة المواد ذات درجة الحرارة العالية، يتميز بإمالة قابلة للتعديل، ودوران 360 درجة، ومناطق تسخين قابلة للتخصيص. مثالي للمختبرات.
فرن أنبوبة التفريغ CVD ذو الغرفة المنقسمة مع ماكينة التفريغ CVD للمحطة
فرن أنبوبي CVD ذو الغرفة المنقسمة مع محطة تفريغ - فرن مختبري عالي الدقة بدرجة حرارة 1200 درجة مئوية لأبحاث المواد المتقدمة. حلول قابلة للتخصيص متاحة.
آلة فرن أنبوب CVD متعدد مناطق التسخين الذاتي CVD لمعدات ترسيب البخار الكيميائي
توفر أفران KINTEK الأنبوبية متعددة المناطق CVD الأنبوبية تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة لترسيب الأغشية الرقيقة المتقدمة. مثالية للبحث والإنتاج، وقابلة للتخصيص لتلبية احتياجات مختبرك.
فرن أنبوبي CVD متعدد الاستخدامات مصنوع خصيصًا آلة معدات الترسيب الكيميائي للبخار CVD
يوفر الفرن الأنبوبي CVD الأنبوبي من KINTEK تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة حتى 1600 درجة مئوية، وهو مثالي لترسيب الأغشية الرقيقة. قابل للتخصيص لتلبية الاحتياجات البحثية والصناعية.
آلة فرن أنبوب الترسيب الكيميائي المحسَّن بالبلازما الدوارة المائلة PECVD
فرن أنبوبي PECVD متقدم لترسيب دقيق للأغشية الرقيقة. تسخين موحد، مصدر بلازما الترددات اللاسلكية، تحكم بالغاز قابل للتخصيص. مثالي لأبحاث أشباه الموصلات.
فرن أنبوبي مختبري بدرجة حرارة عالية 1700 ℃ مع أنبوب كوارتز أو ألومينا
فرن KINTEK الأنبوبي مع أنبوب الألومينا: تسخين دقيق يصل إلى 1700 درجة مئوية لتخليق المواد، والتحميض القابل للذوبان والتلبيد. مدمج وقابل للتخصيص وجاهز للتفريغ. استكشف الآن!
فرن الأنبوب الدوار المائل الدوار للمختبر فرن الأنبوب الدوار المائل للمختبر
فرن KINTEK المختبري الدوار: تسخين دقيق للتكليس والتجفيف والتلبيد. حلول قابلة للتخصيص مع تفريغ الهواء والغلاف الجوي المتحكم فيه. تعزيز البحث الآن!
فرن الأنبوب الدوَّار الأنبوبي الدوَّار المحكم الغلق بالتفريغ المستمر
فرن أنبوبي دوّار دقيق للمعالجة المستمرة بالتفريغ. مثالي للتكلس والتلبيد والمعالجة الحرارية. قابل للتخصيص حتى 1600 درجة مئوية.
فرن أنبوبي مقسم 1200 ℃ فرن أنبوبي كوارتز مختبري مع أنبوب كوارتز
اكتشف فرن الأنبوب المنفصل 1200 ℃ من KINTEK المزود بأنبوب كوارتز للتطبيقات المعملية الدقيقة ذات درجات الحرارة العالية. قابل للتخصيص ومتين وفعال. احصل على جهازك الآن!
فرن أنبوبي تفريغي مختبري عالي الضغط فرن أنبوبي كوارتز أنبوبي
فرن KINTEK الأنبوبي عالي الضغط: تسخين دقيق يصل إلى 1100 درجة مئوية مع التحكم في الضغط بقوة 15 ميجا باسكال. مثالي للتلبيد ونمو البلورات والأبحاث المعملية. حلول قابلة للتخصيص متاحة.
نظام الترسيب الكيميائي المعزز بالبخار المعزز بالبلازما بالترددات الراديوية PECVD
نظام KINTEK RF PECVD: ترسيب دقيق للأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات والبصريات وأجهزة MEMS. عملية مؤتمتة ذات درجة حرارة منخفضة مع جودة رقيقة فائقة. حلول مخصصة متاحة.
1400 ℃ فرن أنبوبي مختبري بدرجة حرارة عالية مع أنبوب الكوارتز والألومينا
فرن KINTEK الأنبوبي مع أنبوب الألومينا: معالجة دقيقة بدرجة حرارة عالية تصل إلى 2000 درجة مئوية للمختبرات. مثالي لتخليق المواد، والتحميض القابل للذوبان والتلبيد. خيارات قابلة للتخصيص متاحة.
الفرن الدوار الكهربائي الفرن الدوار الصغير للكتلة الدوارة الكهربائية فرن دوار للكتلة الحيوية
يقوم فرن التحلل الحراري الدوار للكتلة الحيوية من KINTEK بتحويل الكتلة الحيوية إلى فحم حيوي وزيت حيوي وغاز تخليقي بكفاءة. قابل للتخصيص للأبحاث أو الإنتاج. احصل على الحل الخاص بك الآن!
فرن التلبيد بالبلازما الشرارة SPS
اكتشف فرن التلبيد بالبلازما الشرارة (SPS) المتطور من KINTEK لمعالجة المواد بسرعة ودقة. حلول قابلة للتخصيص للأبحاث والإنتاج.
وصلة تغذية القطب الكهربائي فائق التفريغ من خلال موصل شفة التغذية الكهربائية للتطبيقات عالية الدقة
مغذيات أقطاب كهربائية فائقة التفريغ لتوصيلات موثوقة ذات جهد فائق. خيارات شفة عالية الإغلاق وقابلة للتخصيص، مثالية لأشباه الموصلات والتطبيقات الفضائية.
صمام إيقاف كروي كروي عالي التفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ 304 316 لأنظمة التفريغ
تضمن صمامات التفريغ الكروية والصمامات الحابسة المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 304/316 من KINTEK إحكامًا عالي الأداء للتطبيقات الصناعية والعلمية. استكشف الحلول المتينة والمقاومة للتآكل.
آلة فرن الضغط الساخن الفراغي آلة فرن الضغط الساخن المسخنة بالفراغ
فرن الكبس الساخن بالتفريغ من KINTEK: تسخين وكبس دقيق لكثافة فائقة للمواد. قابل للتخصيص حتى 2800 درجة مئوية، مثالي للمعادن والسيراميك والمواد المركبة. استكشف الميزات المتقدمة الآن!
فراغ عالي للغاية من الفولاذ المقاوم للصدأ KF ISO ISO CF شفة أنبوب مستقيم أنبوب مستقيم عبر المحملة
KF/ISO/CF أنظمة أنابيب شفة الفولاذ المقاوم للصدأ ذات التفريغ الفائق للتطبيقات الدقيقة. قابلة للتخصيص ومتينة ومانعة للتسرب. احصل على حلول الخبراء الآن!