CVD & PECVD Furnace
آلة فرن أنبوب الترسيب الكيميائي المحسَّن بالبلازما الدوارة المائلة PECVD
رقم العنصر : KT-PE16
السعر يتغير بناءً على المواصفات والتخصيصات
- درجة الحرارة القصوى
- 1600℃
- طاقة خرج بلازما التردد اللاسلكي
- 5 -500 واط قابلة للتعديل مع ثبات ± 1%
- ضغط التفريغ المقدر
- 10 باسكال (قياسي)، 6x10-5 باسكال (تفريغ عالي اختياري)
الشحن:
اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
فرن أنبوبي للترسيب الكيميائي المحسّن بالبلازما الدوارة المائلة (PECVD)
آلة الفرن الأنبوبي للترسيب الكيميائي المحسّن بالبلازما الدوارة المائلة (PECVD) هي نظام متطور مصمم لأبحاث المواد المتقدمة وإنتاجها. وهو يستخدم أنبوب فرن دوّار ومولد بلازما لتحفيز التفاعلات الكيميائية في التفريغ الغازي، مما يتيح تكوين رواسب صلبة عالية الجودة على مواد مختلفة. هذا التحكم الدقيق في عملية الترسيب يجعله لا يقدر بثمن للتطبيقات المتطورة.
الميزات والفوائد الرئيسية لأبحاثك
تم تصميم فرن أنبوب PECVD الأنبوبي الخاص بنا لتوفير الدقة والكفاءة وتعدد الاستخدامات لمختبرك:
-
جودة ترسيب محسّنة:
- خلط وتسخين موحد: يضمن أنبوب الفرن الدوّار، الذي يتميز بتصميم متغير القطر وحاجز الخلط، خلطًا شاملاً للمواد وتوزيعًا متسقًا لدرجة الحرارة، مما يؤدي إلى ترسيبات موحدة وعالية الجودة.
- مصدر بلازما متعدد الاستخدامات: يوفر مصدر بلازما الترددات اللاسلكية (5-500 واط، المطابقة التلقائية) طاقة مستقرة وقابلة للتعديل، مما يزيد من طاقة التنشيط، ويخفض درجات حرارة التفاعل، ويحسن كفاءة العملية الكلية لترسيب المواد حسب الطلب.
-
تحكم دقيق في العملية:
- إدارة دقيقة لدرجة الحرارة: يوفر التحكم في درجة الحرارة القابلة للبرمجة PID دقة استثنائية (±1 ℃) وثباتًا، مما يسمح بدورات تسخين وتبريد دقيقة ضرورية لتحقيق خصائص المواد المثلى. يدعم التحكم عن بُعد والتحكم المركزي.
- التحكم في بيئة الغاز: تتيح مقاييس التدفق الكتلي MFC عالية الدقة (حتى 4 قنوات) وجهاز خلط الغاز التحكم الدقيق في تركيبة الغاز ومعدلات التدفق، وهو أمر حيوي لتحسين عمليات الترسيب لمواد وتطبيقات محددة.
- نظام تفريغ فعال: مجهز بمضخة ميكانيكية عالية الأداء للإخلاء السريع لأنبوب الفرن إلى التفريغ. وحدات تفريغ عالية اختيارية (على سبيل المثال، حتى 6 × 10 -5 باسكال مع مضخة جزيئية) متوفرة للعمليات الصعبة.
-
تشغيل سهل الاستخدام والمتانة:
- واجهة سهلة الاستخدام: تسمح وحدة التحكم CTF Pro المزودة بشاشة TFT تعمل باللمس مقاس 7 بوصة بإعداد برنامج سهل الاستخدام، ومراقبة البيانات في الوقت الحقيقي، وتحليل البيانات التاريخية، وقدرات التحكم عن بُعد، مما يسهل العمليات.
- معالجة سريعة: يسهل نظام انزلاق حجرة الفرن الآلي التسخين والتبريد السريع، مما يقلل من وقت المعالجة ويعزز الإنتاجية. يتوفر التبريد السريع الإضافي وحركة الانزلاق الأوتوماتيكية.
- بنية قوية: مصممة بشفة تفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ مع منافذ قابلة للتكيف، مما يضمن إحكامًا موثوقًا ومستويات تفريغ عالية لبيئة ترسيب نقية. مصممة لتحقيق أفضل أداء وصيانة منخفضة وتركيب سهل وعمر تشغيلي طويل.
المواصفات الفنية
| طراز الفرن | PE-1600-60 |
|---|---|
| درجة الحرارة القصوى | 1600℃ |
| درجة حرارة عمل ثابتة | 1550℃ |
| مادة أنبوب الفرن | أنبوب Al2O3 عالي النقاء |
| قطر أنبوب الفرن | 60 مم |
| طول منطقة التسخين | 2 × 300 مم |
| مادة الغرفة | ألياف الألومينا اليابانية |
| عنصر التسخين | ديسيلبيد الموليبدينوم |
| معدل التسخين | 0-10 ℃/دقيقة |
| زوج حراري | النوع ب |
| جهاز التحكم في درجة الحرارة | جهاز تحكم رقمي PID/جهاز تحكم PID بشاشة تعمل باللمس |
| دقة التحكم في درجة الحرارة | ±1℃ |
| وحدة بلازما التردد اللاسلكي | |
| طاقة الإخراج | 5 -500 واط قابلة للتعديل مع ثبات ± 1% |
| تردد التردد اللاسلكي | 13.56 ميجا هرتز ± 0.005% ثبات |
| طاقة الانعكاس | 350 واط كحد أقصى |
| مطابقة | تلقائي |
| ضوضاء | <50 ديسيبل |
| التبريد | تبريد الهواء |
| وحدة تحكم دقيقة بالغاز | |
| مقياس التدفق | مقياس التدفق الكتلي MFC |
| قنوات الغاز | 4 قنوات |
| معدل التدفق |
mfc1: 0-5sccm o2
mfc2: 0-20scmch4 mfc3: 0- 100 sccm h2 mfc4: 0-500 sccm n2 |
| الخطية | ± 0.5٪ ف.س. |
| التكرار | ± 0.2٪ ف.س. |
| خط الأنابيب والصمام | الفولاذ المقاوم للصدأ |
| ضغط التشغيل الأقصى | 0.45 ميجا باسكال |
| وحدة تحكم في مقياس التدفق | وحدة تحكم رقمية بمقبض رقمي/وحدة تحكم بشاشة تعمل باللمس |
| وحدة تفريغ قياسية (اختياري) | |
| مضخة تفريغ | مضخة تفريغ ذات ريشة دوارة |
| معدل تدفق المضخة | 4 لتر/ثانية |
| منفذ شفط التفريغ | KF25 |
| مقياس التفريغ | مقياس تفريغ بيرانى/مقياس تفريغ السيليكون |
| ضغط التفريغ المقدر | 10 باسكال |
| وحدة تفريغ عالية التفريغ (اختياري) | |
| مضخة تفريغ | مضخة دوارة ريشة دوارة + مضخة جزيئية |
| معدل تدفق المضخة | 4 لتر/ثانية + 110 لتر/ثانية |
| منفذ شفط التفريغ | KF25 |
| مقياس التفريغ | مقياس التفريغ المركب |
| ضغط التفريغ المقدر | 6×10-5 باسكال |
| يمكن تخصيص المواصفات والإعدادات المذكورة أعلاه | |
التطبيقات
إن دقة وتعدد استخدامات فرن أنبوب PECVD الأنبوبي الخاص بنا يجعله مثاليًا لمجموعة واسعة من التطبيقات، مما يمكّن الابتكار في مجالات مثل
- تصنيع أشباه الموصلات ترسيب الأغشية الرقيقة مثل نيتريد السيليكون وثاني أكسيد السيليكون والبولي سيليكون على الرقائق.
- إنتاج الخلايا الشمسية: إنتاج الأغشية الرقيقة مثل تيلورايد الكادميوم وسيلينيد النحاس الإنديوم الغاليوم.
- تكنولوجيا شاشات العرض المسطحة: ترسيب مواد مثل أكسيد قصدير الإنديوم وأكسيد الزنك.
- الطلاءات البصرية: تطبيق الأغشية الرقيقة مثل ثاني أكسيد التيتانيوم ونتريد السيليكون على المكونات البصرية.
- تصنيع الأجهزة الطبية: طلاء الأجهزة الطبية بأغشية رقيقة متوافقة حيوياً أو وظيفية مثل هيدروكسيباتيت ونتريد التيتانيوم.
مبدأ التشغيل
تعمل آلة فرن أنبوب الترسيب الكيميائي المحسّن بالبلازما الدوارة المائلة (PECVD) كنظام ترسيب بخار كيميائي دوّار محسّن بالبلازما. ويعتمد أنبوب الفرن على تصميم متغير القطر مع حاجز خلط، مما يسمح بالتسخين المنتظم والخلط الفعال للمواد. ويغطي مولد بلازما مقترن بالحث أنبوب الفرن، مما يوفر طاقة تنشيط متزايدة، والتي يمكن أن تخفض درجات حرارة التفاعل وتحسن الكفاءة. يستخدم الجهاز مقياس تدفق الكتلة ثلاثي الاتجاهات وجهاز خلط الغاز للتحكم الدقيق في الغاز. وبالإضافة إلى ذلك، تتيح المضخة الميكانيكية عالية الأداء الإخلاء السريع لأنبوب الفرن، مما يخلق بيئة تفريغ مناسبة لمختلف عمليات التفريغ القابل للتحويل إلى الحالة القلبية الوسيطة.
ميزات السلامة
السلامة أمر بالغ الأهمية في تصميمنا. يشتمل فرن أنبوب KINTEK على آليات سلامة متعددة:
- الحماية من التيار الزائد ووظائف إنذار درجة الحرارة الزائدة، والتي تقوم تلقائيًا بإيقاف تشغيل الطاقة إذا تم تجاوز الحدود.
- كشف كسر مزدوج حراري مدمج؛ سيتوقف الفرن عن التسخين ويطلق إنذارًا في حالة اكتشاف عطل.
- تدعم وحدة التحكم PE Pro وظيفة إعادة تشغيل انقطاع التيار الكهربائي، مما يسمح للفرن باستئناف برنامج التسخين بمجرد استعادة الطاقة.
الحزمة القياسية
| لا يوجد | الوصف | الكمية |
|---|---|---|
| 1 | فرن | 1 |
| 2 | أنبوب كوارتز | 1 |
| 3 | شفة تفريغ الهواء | 2 |
| 4 | كتلة حرارية أنبوبية | 2 |
| 5 | خطاف الكتلة الحرارية الأنبوبية | 1 |
| 6 | قفاز مقاوم للحرارة | 1 |
| 7 | مصدر بلازما الترددات اللاسلكية | 1 |
| 8 | تحكم دقيق في الغاز | 1 |
| 9 | وحدة تفريغ الهواء | 1 |
| 10 | دليل التشغيل | 1 |
الإعدادات الاختيارية والتخصيص
قم بتخصيص نظام PECVD وفقًا لاحتياجاتك البحثية المحددة من خلال مجموعة من الإعدادات الاختيارية:
- الكشف عن الغاز داخل الأنبوب ومراقبته (على سبيل المثال، H2، O2).
- مراقبة درجة حرارة الفرن المستقلة وتسجيلها.
- منفذ اتصال RS 485 للتحكم عن بُعد بالكمبيوتر الشخصي وتصدير البيانات.
- التحكم في معدلات تدفق تغذية غاز الإدخال (على سبيل المثال، مقياس التدفق الكتلي ومقياس التدفق العائم).
- وحدة تحكم متقدمة في درجة الحرارة بشاشة تعمل باللمس مع وظائف متعددة الاستخدامات وسهلة التشغيل.
- تكوينات محطة مضخة تفريغ عالية التفريغ (على سبيل المثال، مضخة تفريغ ريشة ومضخة جزيئية ومضخة انتشار).
شريكك في علوم المواد المتقدمة
بالاستفادة من البحث والتطوير الاستثنائي والتصنيع الداخلي، تزود KINTEK المختبرات المتنوعة بحلول أفران التفريغ عالية الحرارة المتقدمة. ويكتمل خط إنتاجنا، بما في ذلك الأفران الدوارة والأفران الأنبوبية والأفران الدوارة وأفران التفريغ والغلاف الجوي وأنظمة CVD/PECVD/MPCVD، بقدرتنا القوية على التخصيص العميق لتلبية متطلباتك التجريبية الفريدة بدقة.
هل أنت مستعد للارتقاء بأبحاثك من خلال أفراننا الأنبوبية الدوارة المائلة PECVD؟ خبراؤنا متاحون لمناقشة طلبك المحدد أو استكشاف خيارات التخصيص أو تقديم عرض أسعار مفصل. اتصل بنا اليوم لمعرفة المزيد!
FAQ
ما هي التطبيقات الرئيسية للأفران الأنبوبية الدوارة؟
ما هو الفرن الأنبوبي وكيف يعمل؟
ما هو مبدأ الفرن الدوار؟
فيمَ تُستخدم آلة PECVD؟
ما الغرض من استخدام الفرن الدوار؟
ما هو مبدأ ماكينة التفريغ المقطعي الذاتي CVD؟
ما هو مبدأ ماكينة MPCVD؟
ما هي التطبيقات الرئيسية للأفران الأنبوبية متعددة المناطق؟
ما هي السمات الرئيسية للفرن الأنبوبي الدوار؟
ما هي التطبيقات الرئيسية للأفران الأنبوبية؟
ما هي مزايا استخدام الفرن الدوَّار؟
ما هي الأنواع الرئيسية لماكينات PECVD؟
ما هي الأنواع الرئيسية للأفران الدوارة المتاحة؟
ما هي مزايا استخدام ماكينة CVD؟
ما هي مزايا استخدام آلة MPCVD؟
ما هي الميزات الرئيسية للأفران الأنبوبية متعددة المناطق؟
كيف يعمل الفرن الأنبوبي الدوار؟
ما هي مزايا استخدام الفرن الأنبوبي؟
ما هي الميزات الرئيسية للفرن الدوار؟
كيف تعمل آلة PECVD؟
كيف يعمل الفرن الدوّار؟
ما هي استخدامات آلة التفريغ القابل للذوبان CVD؟
ما هي التطبيقات الرئيسية لماكينات MPCVD؟
كيف يعمل الفرن الأنبوبي متعدد المناطق؟
ما هي مزايا استخدام الفرن الأنبوبي الدوار؟
ما أنواع الأفران الأنبوبية المتوفرة؟
ما هي التطبيقات الشائعة للفرن الدوار؟
ما هي السمات الرئيسية لماكينة PECVD؟
ما هي مزايا استخدام الأفران الدوارة؟
ما هي السمات الرئيسية لماكينة CVD؟
ما هي المكونات الرئيسية لماكينة MPCVD؟
ما هي مزايا استخدام الفرن الأنبوبي متعدد المناطق؟
ما درجة الحرارة التي يمكن أن يصل إليها الفرن الأنبوبي الدوار؟
ما هي نطاقات درجات الحرارة التي يمكن أن تحققها الأفران الأنبوبية؟
كيف يتعامل الفرن الدوار مع المواد المختلفة؟
ما هي مزايا استخدام آلة PECVD؟
ما هي ميزات السلامة المضمنة في الأفران الدوارة؟
ما هي أنواع ماكينات التفريغ القابل للسحب بالأشعة القلبية CVD المتوفرة؟
كيف تعزز آلة MPCVD كفاءة الطاقة؟
ما أنواع الأفران الأنبوبية متعددة المناطق المتوفرة؟
ما أنواع المواد التي يمكن معالجتها في الفرن الأنبوبي الدوار؟
هل يمكن أن تعمل الأفران الأنبوبية تحت أجواء مختلفة؟
ما هي المواد التي يمكن ترسيبها باستخدام آلة PECVD؟
هل يمكن تخصيص الأفران الدوارة لتطبيقات محددة؟
لماذا يُفضل استخدام تقنية MPCVD لنمو الماس؟
ما الذي يجعل أفران KINTEK الأنبوبية مميزة؟
لماذا يفضل PECVD على طرق الترسيب الأخرى؟
4.8
out of
5
This machine is a game-changer! The plasma enhancement works flawlessly, and the inclined rotary design is brilliant.
4.7
out of
5
Incredible value for money. The quality is top-notch, and it arrived faster than expected. Highly recommend!
4.9
out of
5
The durability is impressive. We've used it daily for months with zero issues. A solid investment!
4.8
out of
5
Cutting-edge technology at its finest. The PECVD process is so efficient, it’s like magic!
4.7
out of
5
Superb delivery speed and setup was a breeze. The machine performs beyond expectations.
4.9
out of
5
The precision and consistency are unmatched. This is what technological advancement looks like!
4.8
out of
5
Worth every penny! The build quality is exceptional, and it’s incredibly user-friendly.
4.7
out of
5
Fast delivery and outstanding performance. This machine has revolutionized our lab’s workflow.
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
آلة فرن أنبوب الترسيب الكيميائي المحسَّن بالبلازما الدوارة المائلة PECVD
توفر ماكينة طلاء PECVD من KINTEK أغشية رقيقة دقيقة في درجات حرارة منخفضة لمصابيح LED والخلايا الشمسية و MEMS. حلول قابلة للتخصيص وعالية الأداء.
الفرن الأنبوبي PECVD الشرائحي PECVD مع ماكينة PECVD الغازية السائلة PECVD
فرن أنبوب KINTEK Slide PECVD الأنبوبي: ترسيب دقيق للأغشية الرقيقة مع بلازما الترددات اللاسلكية والدورة الحرارية السريعة والتحكم في الغاز القابل للتخصيص. مثالي لأشباه الموصلات والخلايا الشمسية.
فرن أنبوبي مختبري بدرجة حرارة عالية 1700 ℃ مع أنبوب كوارتز أو ألومينا
فرن KINTEK الأنبوبي مع أنبوب الألومينا: تسخين دقيق يصل إلى 1700 درجة مئوية لتخليق المواد، والتحميض القابل للذوبان والتلبيد. مدمج وقابل للتخصيص وجاهز للتفريغ. استكشف الآن!
1400 ℃ فرن أنبوبي مختبري بدرجة حرارة عالية مع أنبوب الكوارتز والألومينا
فرن KINTEK الأنبوبي مع أنبوب الألومينا: معالجة دقيقة بدرجة حرارة عالية تصل إلى 2000 درجة مئوية للمختبرات. مثالي لتخليق المواد، والتحميض القابل للذوبان والتلبيد. خيارات قابلة للتخصيص متاحة.
الفرن الدوَّار الكهربائي الفرن الدوَّار الصغير لتجديد الكربون المنشط
فرن تجديد الكربون المنشط الكهربائي من KINTEK: فرن دوار آلي عالي الكفاءة لاستعادة الكربون بشكل مستدام. تقليل النفايات، وتحقيق أقصى قدر من التوفير. احصل على عرض أسعار!
نظام الترسيب الكيميائي المعزز بالبخار المعزز بالبلازما بالترددات الراديوية PECVD
نظام KINTEK RF PECVD: ترسيب دقيق للأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات والبصريات وأجهزة MEMS. عملية مؤتمتة ذات درجة حرارة منخفضة مع جودة رقيقة فائقة. حلول مخصصة متاحة.
الفرن الدوار الكهربائي الفرن الدوار الصغير للكتلة الدوارة الكهربائية فرن دوار للكتلة الحيوية
يقوم فرن التحلل الحراري الدوار للكتلة الحيوية من KINTEK بتحويل الكتلة الحيوية إلى فحم حيوي وزيت حيوي وغاز تخليقي بكفاءة. قابل للتخصيص للأبحاث أو الإنتاج. احصل على الحل الخاص بك الآن!
فرن أنبوبي أنبوبي أنبوبي مختبري عمودي كوارتز
فرن أنبوبي عمودي دقيق KINTEK: تسخين 1800 درجة مئوية، تحكم PID، قابل للتخصيص للمختبرات. مثالي للتقنية CVD، ونمو البلورات واختبار المواد.
فرن أنبوبي تفريغي مختبري عالي الضغط فرن أنبوبي كوارتز أنبوبي
فرن KINTEK الأنبوبي عالي الضغط: تسخين دقيق يصل إلى 1100 درجة مئوية مع التحكم في الضغط بقوة 15 ميجا باسكال. مثالي للتلبيد ونمو البلورات والأبحاث المعملية. حلول قابلة للتخصيص متاحة.
فرن أنبوبي مقسم 1200 ℃ فرن أنبوبي كوارتز مختبري مع أنبوب كوارتز
اكتشف فرن الأنبوب المنفصل 1200 ℃ من KINTEK المزود بأنبوب كوارتز للتطبيقات المعملية الدقيقة ذات درجات الحرارة العالية. قابل للتخصيص ومتين وفعال. احصل على جهازك الآن!
فرن أنبوبي كوارتز مختبري أنبوبي التسخين RTP
يوفر فرن أنبوب التسخين السريع RTP من KINTEK تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة، وتسخينًا سريعًا يصل إلى 100 درجة مئوية/ثانية، وخيارات جو متعددة الاستخدامات للتطبيقات المعملية المتقدمة.
ماكينة KINTEK MPCVD للماس: تركيب الماس عالي الجودة بتقنية MPCVD المتقدمة. نمو أسرع، ونقاء فائق، وخيارات قابلة للتخصيص. زيادة الإنتاج الآن!
فرن الأنبوب الدوَّار الأنبوبي الدوَّار المحكم الغلق بالتفريغ المستمر
فرن أنبوبي دوّار دقيق للمعالجة المستمرة بالتفريغ. مثالي للتكلس والتلبيد والمعالجة الحرارية. قابل للتخصيص حتى 1600 درجة مئوية.
موليبدينوم ديسيلبيد الموليبدينوم MoSi2 عناصر التسخين الحراري للفرن الكهربائي
عناصر تسخين MoSi2 عالية الأداء للمختبرات، تصل درجة حرارتها إلى 1800 درجة مئوية مع مقاومة فائقة للأكسدة. قابلة للتخصيص ومتينة وموثوقة للتطبيقات ذات درجات الحرارة العالية.
آلة فرن أنبوب CVD متعدد مناطق التسخين الذاتي CVD لمعدات ترسيب البخار الكيميائي
توفر أفران KINTEK الأنبوبية متعددة المناطق CVD الأنبوبية تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة لترسيب الأغشية الرقيقة المتقدمة. مثالية للبحث والإنتاج، وقابلة للتخصيص لتلبية احتياجات مختبرك.
معدات نظام ماكينات HFCVD لرسم طلاء القوالب النانوية الماسية النانوية
يوفر نظام HFCVD من KINTEK طلاءات ماسية نانوية عالية الجودة لقوالب سحب الأسلاك، مما يعزز المتانة مع صلابة فائقة ومقاومة للتآكل. اكتشف الحلول الدقيقة الآن!
مفاعل نظام الماكينة MPCVD مفاعل جرس الجرس الرنان للمختبر ونمو الماس
أنظمة KINTEK MPCVD: ماكينات دقيقة لنمو الماس من أجل ماس عالي النقاء مزروع في المختبر. موثوقة وفعالة وقابلة للتخصيص للأبحاث والصناعة.
فرن التلبيد بالبلازما الشرارة SPS
اكتشف فرن التلبيد بالبلازما الشرارة (SPS) المتطور من KINTEK لمعالجة المواد بسرعة ودقة. حلول قابلة للتخصيص للأبحاث والإنتاج.
نظام آلة MPCVD ذات الرنين الأسطواني لنمو الماس في المختبر
أنظمة KINTEK MPCVD: زراعة أغشية ماسية عالية الجودة بدقة. موثوقة وموفرة للطاقة وصديقة للمبتدئين. يتوفر دعم الخبراء.