تتوافق أنظمة CVD المذكورة مع أنابيب الكوارتز ذات الحجمين القياسيين: 2 بوصة (50.8 مم تقريبًا) و1 بوصة (25.4 مم) بأقطار قياسية.بالإضافة إلى ذلك، لوحظ وجود متغير فرن أنبوبي بقطر 70 مم للتطبيقات المتخصصة التي تتطلب معالجة عينات أصغر.تلبي هذه الأبعاد الاحتياجات التجريبية أو الصناعية المتنوعة، وتوازن بين إنتاجية المواد والدقة.كما تدمج الأنظمة أيضًا أدوات التحكم في تدفق الغاز (0-500 sccm) لعمليات مثل PECVD، مما يضمن القدرة على التكيف عبر تطبيقات أشباه الموصلات والطاقة الشمسية والطبية الحيوية.
شرح النقاط الرئيسية:
-
أحجام أنابيب الكوارتز الأساسية
- 2 بوصة (50.8 مم):مثالية للعمليات واسعة النطاق، مثل طلاء رقاقة أشباه الموصلات أو تركيب المواد السائبة.
- 1 بوصة (25.4 مم):ملائم للتطبيقات الدقيقة مثل أجهزة MEMS أو الأبحاث على دفعات صغيرة، حيث تكون هناك حاجة إلى تحكم أدق.
- ويضمن التوافق مع هذه الأحجام المرونة في سير العمل على المستوى الصناعي والمختبري.
-
خيار الأنبوب المتخصص 70 مم
- الأنبوب فرن أنبوب الكوارتز بقطر داخلي 70 مم يستوعب العينات الأصغر حجمًا (على سبيل المثال، الأغشية الرقيقة أو المواد النانوية)، مما يوفر كفاءة للتطبيقات المتخصصة مثل الطلاءات البصرية أو الأبحاث الطبية الحيوية.
-
تعدد استخدامات النظام
- تتكامل أحجام الأنابيب هذه مع PECVD وغيرها من عمليات التفريغ الكهروضوئي بالحرارة القلبية CVD، مدعومة بأنظمة تدفق الغاز (Ar/H₂، 0-500 sccm) للتحكم الدقيق في التفاعل.
- تمتد التطبيقات لتشمل الخلايا الشمسية والإلكترونيات الدقيقة والطلاءات الحاجزة، حيث يؤثر قطر الأنبوب على توحيد الترسيب وخصائص المواد.
-
اعتبارات للمشترين
- الإنتاجية مقابل الدقة:الأنابيب الأكبر حجمًا (2 بوصة) تفضل الإنتاج بكميات كبيرة، بينما الأنابيب مقاس 1 بوصة أو 70 مم تُحسّن المهام الحساسة للتفاصيل.
- توافق الغاز:التأكد من توافق أبعاد الأنبوب مع معدلات تدفق الغاز للحفاظ على استقرار العملية (على سبيل المثال، تجنب الاضطراب في الأنابيب الأضيق).
-
التدقيق المستقبلي
- قد تسمح التصاميم المعيارية بتبديل الأنابيب؛ تحقق من مواصفات النظام للتكيف إذا كان من المتوقع أن يتم التدرج بين الأحجام.
تعكس هذه الخيارات التوازن بين التوحيد القياسي والتخصيص، وهو أمر بالغ الأهمية لمواءمة المعدات مع متطلبات البحث والتطوير أو التصنيع المتطورة.
جدول ملخص:
| حجم أنبوب الكوارتز | القطر (مم) | الأفضل لـ |
|---|---|---|
| 2 بوصة | 50.8 | العمليات واسعة النطاق (رقاقات أشباه الموصلات، تخليق المواد السائبة) |
| 1 بوصة | 25.4 | التطبيقات الدقيقة (أجهزة MEMS، وأبحاث الدفعات الصغيرة) |
| 70 مم | 70 | التطبيقات المتخصصة (الأغشية الرقيقة، المواد النانوية، الطلاءات البصرية) |
قم بترقية مختبرك باستخدام حجم أنبوب الكوارتز المناسب لنظام CVD الخاص بك! اتصل ب KINTEK اليوم لمناقشة احتياجاتك.صُممت حلولنا المتطورة للتفريغ القابل للتفريغ القابل للتبريد باستخدام التفريغ القابل للتحويل إلى كيميائي (CVD)، بما في ذلك أفران أنابيب PECVD والمكونات المتوافقة مع التفريغ، من أجل الدقة وقابلية التوسع.سواء كنت تعمل في مجال أبحاث أشباه الموصلات أو تطوير الخلايا الشمسية أو التطبيقات الطبية الحيوية، فإننا نقدم حلولاً مصممة خصيصًا لتعزيز كفاءة العملية والنتائج.
المنتجات التي قد تبحث عنها
استكشف نوافذ المراقبة عالية التفريغ لأنظمة CVD
عرض الصمامات الحابسة الكروية عالية التفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ
