صُممت معدات الترسيب الكيميائي بالبخار المعزز بالبلازما (PECVD) لمعالجة رقائق تصل إلى 100 مم (4 بوصة) لتوفير الدقة والتنوع والكفاءة في ترسيب الأغشية الرقيقة.تشمل الميزات الرئيسية المعالجة في درجات حرارة منخفضة (أقل من 200 درجة مئوية)، والتوافق مع ركائز مختلفة (الزجاج، GaAs، إلخ)، ودعم مواد الترسيب المتعددة (SiO2، Si3N4، SiOxNy، السيليكون غير المتبلور).يدمج النظام تحكمًا متقدمًا في البلازما (PECVD أو HDPECVD المباشر/عن بُعد أو HDPECVD)، وتشغيل سهل الاستخدام (شاشة تعمل باللمس، وتصميم مدمج)، وترسيب Si3N4 الخالي من NH3 من أجل تقليل محتوى الهيدروجين.هذه الميزات تجعله مثاليًا لتطبيقات أشباه الموصلات والتطبيقات الطبية الحيوية حيث تكون الحساسية الحرارية وجودة الفيلم أمرًا بالغ الأهمية.
شرح النقاط الرئيسية:
1. توافق الركيزة ومرونتها
-
قبول أوسع للمواد:بخلاف الأدوات فائقة النظافة، يستوعب نظام PECVD هذا ركائز متنوعة، بما في ذلك
- رقائق وشرائح زجاجية
- GaAs (زرنيخيد الغاليوم)
- البوليمرات الحساسة للحرارة (بسبب المعالجة بدرجة حرارة منخفضة)
- الميزة الحرارية:تعمل تحت درجة حرارة أقل من 200 درجة مئوية، مما يمنع تدهور المواد مثل البلاستيك أو المعادن مسبقة الطلاء.
2. مواد وتقنيات الترسيب
-
المواد الأساسية المدعومة:
- ثاني أكسيد السيليكون (SiO2) للعزل
- نيتريد السيليكون (Si3N4) كطبقة عازلة/حاجز (خيار خالٍ من NH3 يقلل من محتوى H2)
- أوكسين نيتريد السيليكون (SiOxNy) للخصائص البصرية القابلة للضبط
- السيليكون غير المتبلور للتطبيقات الكهروضوئية/العرض الضوئي
-
تكوينات البلازما:
- PECVD مباشر PECVD:البلازما المقترنة بالسعة لنمو الفيلم بشكل موحد
- بلازما PECVD عن بُعد:بلازما مقترنة حثيًا لتقليل تلف الركيزة
- HDPECVD:نهج هجين (يجمع بين الاثنين) للترسيب عالي الكثافة وعالي المعدل (آلة mpcvd)
3. الأجهزة الرئيسية والميزات التشغيلية
-
تصميم مدمج وسهل الاستخدام:
- شاشة لمس مدمجة للتحكم في المعلمات (تدفق الغاز، ودرجة الحرارة، وطاقة البلازما)
- سهولة التركيب/التنظيف لتقليل وقت التعطل إلى أدنى حد ممكن
-
تحسينات الأداء:
- تعزيز التردد اللاسلكي (RF) للتحكم الدقيق في البلازما
- معدلات ترسيب سريعة (قابلة للتعديل عبر إعدادات تدفق الغاز/البلازما)
- حجم الرقاقة:يدعم رقاقات تصل إلى 100 مم (4 بوصة)، وهو مثالي للبحث والتطوير أو الإنتاج على نطاق صغير.
4. جودة الفيلم والمزايا الخاصة بالتطبيق
-
خصائص نيتريد السيليكون (Si3N4):
- صلابة عالية (حوالي 19 جيجا باسكال) ومعامل يونج (حوالي 150 جيجا باسكال)
- التوافق الحيوي للأجهزة الطبية
- حاجز انتشار فائق ضد الرطوبة/الأيونات
-
التحكم في المعلمات:يمكن ضبط سمك الغشاء ومعامل الانكسار والكثافة عن طريق:
- معدلات تدفق الغاز (تدفقات أعلى = ترسيب أسرع)
- ظروف البلازما (على سبيل المثال، كثافة الطاقة تؤثر على خشونة الفيلم)
5. المزايا النسبية مقارنة بالتقنية التقليدية للتفكيك القابل للذوبان في الماء
- المعالجة بدرجة حرارة منخفضة:تجنّب التواء/إجهاد الركيزة (مقابل 1,000 درجة مئوية في تقنية CVD التقليدية)
- تعدد الاستخدامات:مناسب للركائز الحساسة (مثل الإلكترونيات المرنة)
- الكفاءة:يجمع بين الترسيب السريع والجودة العالية للأفلام (على سبيل المثال، كثافة الثقب المنخفضة)
هذا التوازن بين الدقة والقدرة على التكيف وسهولة الاستخدام يجعل من نظام PECVD حجر الزاوية في تصنيع أشباه الموصلات والطلاءات الطبية الحيوية والأبحاث الإلكترونية الضوئية.تؤكد قدرة النظام على التعامل مع مواد متنوعة مع الحفاظ على سلامة الأغشية في درجات حرارة منخفضة على قيمته في التصنيع الدقيق الحديث.
جدول ملخص:
| الميزة | المزايا |
|---|---|
| المعالجة في درجات حرارة منخفضة (<200 درجة مئوية) | تمنع تحلل الركائز الحساسة للحرارة مثل البوليمرات والمعادن مسبقة النمط. |
| توافق متعدد الركائز | تعمل مع الزجاج، والجاسا، والبوليمرات الحساسة للحرارة. |
| مواد ترسيب متعددة الاستخدامات | تدعم SiO2 و Si3N4 و SiOxNy والسيليكون غير المتبلور. |
| تحكم متقدم بالبلازما | خيارات للتكوينات المباشرة أو عن بُعد أو HDPECVD لخصائص غشاء مصممة خصيصًا. |
| تشغيل سهل الاستخدام | واجهة شاشة تعمل باللمس وتصميم مدمج لسهولة الاستخدام والصيانة. |
| ترسيب Si3N4 الخالي من NH3 | يقلل من محتوى الهيدروجين لتحسين جودة الفيلم. |
| دعم رقاقة 100 مم | مثالية للبحث والتطوير والإنتاج على نطاق صغير. |
عزز قدرات مختبرك على ترسيب الأغشية الرقيقة باستخدام حلول KINTEK المتقدمة PECVD! تم تصميم معداتنا لتحقيق الدقة وتعدد الاستخدامات والكفاءة، مما يجعلها مثالية لتطبيقات أشباه الموصلات والتطبيقات الطبية الحيوية والإلكترونية الضوئية.وبالاستفادة من البحث والتطوير الاستثنائي والتصنيع الداخلي لدينا، نقدم أنظمة PECVD قابلة للتخصيص لتلبية احتياجاتك التجريبية الفريدة. اتصل بنا اليوم لمعرفة كيف يمكن لحلولنا أن ترتقي بعملية البحث أو الإنتاج لديك!
المنتجات التي قد تبحث عنها
استكشاف نوافذ المراقبة عالية التفريغ لأنظمة PECVD
اكتشف أنظمة ترسيب الماس بتقنية MPCVD المتقدمة
