CVD & PECVD Furnace
آلة فرن أنبوب الترسيب الكيميائي المحسَّن بالبلازما الدوارة المائلة PECVD
رقم العنصر : KT-PED
السعر يتغير بناءً على المواصفات والتخصيصات
- درجة حرارة التسخين
- ≤800℃
- درجة الفراغ
- ≤5 × 10×10-5 باسكال
- طاقة الإخراج
- 500 واط - 1000 واط
الشحن:
اتصل بنا للحصول على تفاصيل الشحن استمتع ضمان التسليم في الموعد المحدد.
آلة طلاء الترسيب الكيميائي المحسّن بالبلازما بالبخار الكيميائي (PECVD)
أنظمة PECVD المتقدمة من KINTEK: طلاء دقيق، مصمم خصيصًا لتلبية احتياجاتك
من خلال الاستفادة من البحث والتطوير الاستثنائي والتصنيع الداخلي، تقدم KINTEK أحدث أنظمة الترسيب الكيميائي المحسّن بالبخار بالبلازما (PECVD) المصممة للمختبرات والتطبيقات الصناعية المتنوعة. PECVD عبارة عن تقنية متطورة لترسيب الأغشية الرقيقة بالتفريغ تستخدم البلازما لتنشيط الغازات السليفة. ويسمح ذلك بإنشاء طلاءات عالية الجودة وموحدة في درجات حرارة أقل بكثير من الترسيب الكيميائي بالبخار التقليدي (CVD)، مما يوسع من إمكانيات الركائز الحساسة للحرارة (مثل البلاستيك) ومجموعة متنوعة من مواد الطلاء (بما في ذلك المواد العازلة وأشباه الموصلات والعوازل).
تُعد ماكينات PECVD الخاصة بنا عرضًا رئيسيًا ضمن مجموعة KINTEK الشاملة لحلول الأفران المتقدمة عالية الحرارة، والتي تشمل أيضًا أفران التفريغ والأنابيب والأفران الدوارة وأفران التفريغ والغلاف الجوي وغيرها من أنظمة التفريغ القابل للتفكيك المقطعي بالبطاريات CVD/التفكيك بالتقنية الفائقة الكثافة. نحن نفخر بقدرتنا القوية على التخصيص العميق، مما يضمن تصميم نظام PECVD الخاص بك بدقة لتلبية متطلباتك التجريبية والإنتاجية الفريدة.
الميزات الرئيسية
توفر ماكينات الطلاء بالترسيب الكيميائي بالبخار المحسّن بالبلازما (PECVD) من KINTEK مجموعة من الميزات المصممة لتحقيق أداء فائق وتعدد استخدامات:
- ترسيب بدرجة حرارة منخفضة: تتيح تشكيل أغشية عالية الجودة على ركائز حساسة أو منخفضة درجة الانصهار دون ضرر حراري، مما يوسع بشكل كبير من توافق المواد.
- معدلات ترسيب عالية: تحقيق نمو سريع للفيلم وزيادة الإنتاجية وتقليل وقت المعالجة وزيادة الإنتاجية الإجمالية.
- أفلام موحدة ومقاومة للتشقق: ينتج طلاءات ذات اتساق استثنائي في السماكة والخصائص عبر الركيزة، مما يقلل من العيوب مثل التشقق للحصول على نتائج موثوقة ودائمة.
- التصاق ممتاز للركيزة: يضمن ترابطاً قوياً بين الطبقة المودعة ومواد الركيزة، مما يؤدي إلى أداء طويل الأمد ويمنع التشقق.
- قدرات طلاء متعددة الاستخدامات: يدعم ترسيب مجموعة كبيرة من المواد، مثل SiO2 وSiOx وSiOxNy وغيرها، مما يلبي احتياجات التطبيقات المتنوعة.
- طلاء مطابق على الأشكال الهندسية المعقدة: قادرة على طلاء الركائز بشكل موحد بأشكال وطوبوغرافيات معقدة، مما يضمن تغطية شاملة وأداءً مثاليًا.
- تصميم سهل الاستخدام: مصممة لتلبية متطلبات الصيانة المنخفضة والتركيب المباشر، مما يقلل من وقت التوقف عن العمل ويبسط الاندماج في سير عملك.
المواصفات الفنية
| حامل العينة | الحجم | 1-6 بوصات |
| سرعة الدوران | 0-20 دورة في الدقيقة قابلة للتعديل | |
| درجة حرارة التسخين | ≤800℃ | |
| دقة التحكم | ± 0.5 ℃ وحدة تحكم SHIMADEN PID | |
| تطهير الغاز | مقياس التدفق | وحدة تحكم مقياس التدفق الكتلي (mfc) |
| القنوات | 4 قنوات | |
| طريقة التبريد | تبريد الماء الدائر | |
| غرفة تفريغ الهواء | حجم الغرفة | Φ500 مم × 550 مم |
| منفذ المراقبة | منفذ رؤية كامل مع حاجز | |
| مادة الحجرة | 316 فولاذ مقاوم للصدأ | |
| نوع الباب | باب من النوع المفتوح من الأمام | |
| مادة الغطاء | 304 فولاذ مقاوم للصدأ | |
| منفذ مضخة التفريغ | شفة CF200 | |
| منفذ مدخل الغاز | موصل φ6 VCR | |
| طاقة البلازما | طاقة المصدر | طاقة التيار المستمر أو طاقة التردد اللاسلكي |
| وضع الاقتران | اقتران حثي أو لوحة سعوية | |
| طاقة الإخراج | 500 واط - 1000 واط | |
| طاقة التحيز | 500v | |
| مضخة تفريغ الهواء | مضخة تفريغ قبل المضخة | مضخة تفريغ ريشة 15 لتر/ثانية |
| منفذ المضخة التوربينية | cf150/ cf200 620 لتر/ثانية - 1600 لتر/ثانية | |
| منفذ التفريغ | KF25 | |
| سرعة المضخة | مضخة الريشة: 15 لتر/ثانية ， مضخة توربو: 1200 لتر/ثانية أو 1600 لتر/ثانية | |
| درجة التفريغ | ≤5 × 10 × 10-5 باسكال | |
| مستشعر التفريغ | مقياس التأين/مقياس التفريغ/مقياس التفريغ المقاوم | |
| النظام | مصدر الطاقة الكهربائية | تيار متردد 220 فولت / 380 50 هرتز |
| الطاقة المقدرة | 5 كيلو وات | |
| الأبعاد | 900 مم × 820 مم × 820 مم × 870 مم | |
| الوزن | 200 كجم |
التطبيقات
توفر ماكينات الطلاء بالبلازما المحسنة للترسيب الكيميائي بالبخار (PECVD) من KINTEK حلاً متعدد الاستخدامات لمجموعة واسعة من الصناعات والتطبيقات المتطورة:
- إضاءة LED: ترسيب الأغشية العازلة وأشباه الموصلات عالية الجودة الضرورية للصمامات الثنائية الباعثة للضوء (LED) الفعالة والمتينة.
- أشباه موصلات الطاقة: تشكيل الطبقات العازلة وأكاسيد البوابة ومكونات الأفلام الهامة الأخرى في أجهزة أشباه موصلات الطاقة.
- MEMS (الأنظمة الكهروميكانيكية الدقيقة): تصنيع الأغشية الرقيقة الدقيقة لأجهزة الاستشعار والمشغلات وغيرها من الأجهزة متناهية الصغر.
- الطلاءات البصرية: ترسيب الطلاءات المضادة للانعكاس والمرشحات البصرية والطبقات الواقية والمكونات البصرية الوظيفية الأخرى.
- الخلايا الشمسية ذات الأغشية الرقيقة: إنتاج أغشية رقيقة من السيليكون غير المتبلور والجريزوفولفينية، بالإضافة إلى مواد أخرى من أشباه الموصلات للأجهزة الكهروضوئية.
- تعديل السطح: تحسين خصائص سطح المواد، بما في ذلك تحسين مقاومة التآكل ومقاومة التآكل والصلابة والتوافق الحيوي.
- تكنولوجيا النانو: تخليق المواد النانوية المتقدمة، مثل الجسيمات النانوية والأسلاك النانوية والأغشية الرقيقة جداً للتطبيقات الجديدة.
لماذا الشراكة مع KINTEK لتكنولوجيا PECVD؟
إن اختيار KINTEK لتلبية احتياجاتك من تقنية PECVD يعني الاستثمار في الجودة والموثوقية والحلول المصممة خصيصًا:
- التخصيص العميق: نحن متخصصون في تهيئة أنظمة PECVD وفقًا لمواصفاتك الدقيقة، مما يضمن الأداء الأمثل لتطبيقاتك الفريدة وأهدافك البحثية.
- البحث والتطوير المتقدم والتصنيع: تدفع خبرتنا الداخلية إلى الابتكار، مما يتيح لنا تقديم أحدث تقنيات PECVD.
- بنية عالية الجودة: تتميز أنظمتنا بتصميمات صلبة مصنوعة من مواد ممتازة مثل الفولاذ المقاوم للصدأ لتحقيق الثبات والمتانة وإطالة عمر التشغيل.
- أداء موثوق: صُممت ماكينات PECVD الخاصة بنا للحصول على نتائج متسقة، وتنتج ماكينات PECVD الخاصة بنا أغشية رقيقة عالية الجودة وموحدة مع التصاق ممتاز.
- دعم شامل: بدءًا من سهولة التركيب وحتى متطلبات الصيانة المنخفضة، نضمن أن تكون أنظمتنا سهلة الاستخدام ومدعومة بخدمة عملاء سريعة الاستجابة.
- تعدد الاستخدامات: يمكن لماكيناتنا ترسيب مجموعة كبيرة من المواد، مما يجعلها مناسبة للعمليات البحثية والصناعية المتنوعة.
مبدأ العمل
الترسيب بالبخار الكيميائي المحسّن بالبلازما (PECVD) هي عملية تستخدم البلازما (غاز مؤين) لتحفيز التفاعلات الكيميائية وتعزيزها أثناء عملية ترسيب الأغشية الرقيقة. وخلافًا لعملية الترسيب بالبخار المقطعي التقليدي الذي يعتمد فقط على درجات الحرارة العالية لتحفيز التفاعلات، تستخدم عملية الترسيب بالبخار بالبلازما عالية الطاقة. تعمل هذه البلازما على تنشيط الغازات السلائف مما يؤدي إلى تكوين أنواع تفاعلية عند درجات حرارة أقل بكثير من الركيزة. ثم تمتص هذه الأنواع التفاعلية على سطح الركيزة وتخضع لتفاعلات كيميائية لتكوين طبقة رقيقة صلبة. وتسمح هذه الطريقة بترسيب أغشية مختلفة عالية الجودة، مثل SiO2 وSiOXNx وSiOxNy، وهي فعالة بشكل خاص في تكوين أغشية رقيقة من السيليكون غير المتبلور أو الجريزوفولفين المستخدم في الخلايا الشمسية. تقلل درجات حرارة المعالجة المنخفضة من الإجهاد الحراري على الركائز وتقلل من الثقوب وتمنع التشقق، مما يجعل تقنية PECVD مثالية لمجموعة واسعة من المواد والتطبيقات.
تخصيص حل PECVD الخاص بك مع KINTEK
هل أنت مستعد لرفع قدراتك في ترسيب الأغشية الرقيقة؟ خبراء KINTEK متواجدون لمناقشة احتياجات مشروعك وتحدياتك الخاصة. يمكننا مساعدتك في تهيئة نظام الترسيب الكيميائي المحسّن بالبلازما المحسّن بالبخار الكيميائي المصمم بشكل مثالي لمتطلباتك التجريبية أو الإنتاجية. استفد من خبرتنا العميقة في التخصيص والتكنولوجيا المتقدمة لتحقيق نتائج فائقة.
اتصل بنا اليوم لاستكشاف حل PECVD المخصص لك!
FAQ
ما هو الفرن الأنبوبي وكيف يعمل؟
ما هي التطبيقات الرئيسية للأفران الأنبوبية الدوارة؟
ما هو مبدأ الفرن الدوار؟
ما الغرض من استخدام الفرن الدوار؟
ما هي التطبيقات الرئيسية للأفران الأنبوبية متعددة المناطق؟
ما هي التطبيقات الشائعة للأفران الأنبوبية المنقسمة؟
ما هو الفرن الأنبوبي العمودي؟
ما هي التطبيقات الرئيسية للأفران الأنبوبية؟
ما هي السمات الرئيسية للفرن الأنبوبي الدوار؟
ما هي مزايا استخدام الفرن الدوَّار؟
ما هي الأنواع الرئيسية للأفران الدوارة المتاحة؟
ما هي الميزات الرئيسية للأفران الأنبوبية متعددة المناطق؟
ما هي السمات الرئيسية للفرن الأنبوبي المنفصل؟
ما هي تطبيقات الفرن الأنبوبي العمودي؟
ما هي مزايا استخدام الفرن الأنبوبي؟
كيف يعمل الفرن الأنبوبي الدوار؟
ما هي الميزات الرئيسية للفرن الدوار؟
كيف يعمل الفرن الدوّار؟
كيف يعمل الفرن الأنبوبي متعدد المناطق؟
كيف يعمل فرن الأنبوب المنفصل؟
ما هي مزايا الفرن الأنبوبي العمودي؟
ما أنواع الأفران الأنبوبية المتوفرة؟
ما هي مزايا استخدام الفرن الأنبوبي الدوار؟
ما هي التطبيقات الشائعة للفرن الدوار؟
ما هي مزايا استخدام الأفران الدوارة؟
ما هي مزايا استخدام الفرن الأنبوبي متعدد المناطق؟
ما هي مزايا استخدام الفرن الأنبوبي المنفصل؟
كيف يعمل الفرن الأنبوبي العمودي؟
ما هي نطاقات درجات الحرارة التي يمكن أن تحققها الأفران الأنبوبية؟
ما درجة الحرارة التي يمكن أن يصل إليها الفرن الأنبوبي الدوار؟
كيف يتعامل الفرن الدوار مع المواد المختلفة؟
ما هي ميزات السلامة المضمنة في الأفران الدوارة؟
ما أنواع الأفران الأنبوبية متعددة المناطق المتوفرة؟
ما درجة الحرارة التي يمكن أن يصل إليها فرن الأنبوب المنفصل؟
ما أنواع الأفران الأنبوبية الرأسية المتوفرة؟
هل يمكن أن تعمل الأفران الأنبوبية تحت أجواء مختلفة؟
ما أنواع المواد التي يمكن معالجتها في الفرن الأنبوبي الدوار؟
هل يمكن تخصيص الأفران الدوارة لتطبيقات محددة؟
لماذا يعتبر التصميم المنفصل مفيدًا في الفرن الأنبوبي؟
لماذا تختار الفرن الأنبوبي العمودي بدلاً من الأفقي؟
ما الذي يجعل أفران KINTEK الأنبوبية مميزة؟
ما هي درجات الحرارة التي يمكن أن تحققها الأفران الأنبوبية العمودية؟
هل الأفران الأنبوبية الرأسية قابلة للتخصيص؟
4.8
out of
5
This machine is a game-changer! The precision and efficiency are unmatched. Worth every penny!
4.9
out of
5
Incredible technology! The inclined rotary feature makes all the difference. Superb quality!
4.7
out of
5
Fast delivery and easy setup. The performance exceeds expectations. Highly recommend!
4.9
out of
5
Top-notch durability and advanced features. This machine is built to last. Impressive!
4.8
out of
5
The PECVD process is flawless. Such a reliable and high-quality machine. Love it!
4.7
out of
5
Great value for money. The technology is cutting-edge and the results are consistent.
4.9
out of
5
Exceptional performance! The rotary design enhances uniformity. A must-have for labs!
4.8
out of
5
Outstanding machine! The plasma enhancement is brilliant. Delivered faster than expected.
4.7
out of
5
Perfect for high-throughput applications. The build quality is exceptional. Very satisfied!
4.9
out of
5
Innovative and reliable. The inclined tube design is genius. Works like a charm!
4.8
out of
5
Fantastic investment! The machine delivers consistent, high-quality results. Highly impressed!
اطلب اقتباس
سيقوم فريقنا المحترف بالرد عليك في غضون يوم عمل واحد. لا تتردد في الاتصال بنا!
المنتجات ذات الصلة
آلة فرن أنبوب الترسيب الكيميائي المحسَّن بالبلازما الدوارة المائلة PECVD
فرن أنبوبي PECVD متقدم لترسيب دقيق للأغشية الرقيقة. تسخين موحد، مصدر بلازما الترددات اللاسلكية، تحكم بالغاز قابل للتخصيص. مثالي لأبحاث أشباه الموصلات.
الفرن الأنبوبي PECVD الشرائحي PECVD مع ماكينة PECVD الغازية السائلة PECVD
فرن أنبوب KINTEK Slide PECVD الأنبوبي: ترسيب دقيق للأغشية الرقيقة مع بلازما الترددات اللاسلكية والدورة الحرارية السريعة والتحكم في الغاز القابل للتخصيص. مثالي لأشباه الموصلات والخلايا الشمسية.
فرن أنبوبي مختبري بدرجة حرارة عالية 1700 ℃ مع أنبوب كوارتز أو ألومينا
فرن KINTEK الأنبوبي مع أنبوب الألومينا: تسخين دقيق يصل إلى 1700 درجة مئوية لتخليق المواد، والتحميض القابل للذوبان والتلبيد. مدمج وقابل للتخصيص وجاهز للتفريغ. استكشف الآن!
1400 ℃ فرن أنبوبي مختبري بدرجة حرارة عالية مع أنبوب الكوارتز والألومينا
فرن KINTEK الأنبوبي مع أنبوب الألومينا: معالجة دقيقة بدرجة حرارة عالية تصل إلى 2000 درجة مئوية للمختبرات. مثالي لتخليق المواد، والتحميض القابل للذوبان والتلبيد. خيارات قابلة للتخصيص متاحة.
الفرن الدوَّار الكهربائي الفرن الدوَّار الصغير لتجديد الكربون المنشط
فرن تجديد الكربون المنشط الكهربائي من KINTEK: فرن دوار آلي عالي الكفاءة لاستعادة الكربون بشكل مستدام. تقليل النفايات، وتحقيق أقصى قدر من التوفير. احصل على عرض أسعار!
نظام الترسيب الكيميائي المعزز بالبخار المعزز بالبلازما بالترددات الراديوية PECVD
نظام KINTEK RF PECVD: ترسيب دقيق للأغشية الرقيقة لأشباه الموصلات والبصريات وأجهزة MEMS. عملية مؤتمتة ذات درجة حرارة منخفضة مع جودة رقيقة فائقة. حلول مخصصة متاحة.
فرن أنبوبي أنبوبي أنبوبي مختبري عمودي كوارتز
فرن أنبوبي عمودي دقيق KINTEK: تسخين 1800 درجة مئوية، تحكم PID، قابل للتخصيص للمختبرات. مثالي للتقنية CVD، ونمو البلورات واختبار المواد.
الفرن الدوار الكهربائي الفرن الدوار الصغير للكتلة الدوارة الكهربائية فرن دوار للكتلة الحيوية
يقوم فرن التحلل الحراري الدوار للكتلة الحيوية من KINTEK بتحويل الكتلة الحيوية إلى فحم حيوي وزيت حيوي وغاز تخليقي بكفاءة. قابل للتخصيص للأبحاث أو الإنتاج. احصل على الحل الخاص بك الآن!
فرن أنبوبي مقسم 1200 ℃ فرن أنبوبي كوارتز مختبري مع أنبوب كوارتز
اكتشف فرن الأنبوب المنفصل 1200 ℃ من KINTEK المزود بأنبوب كوارتز للتطبيقات المعملية الدقيقة ذات درجات الحرارة العالية. قابل للتخصيص ومتين وفعال. احصل على جهازك الآن!
فرن أنبوبي تفريغي مختبري عالي الضغط فرن أنبوبي كوارتز أنبوبي
فرن KINTEK الأنبوبي عالي الضغط: تسخين دقيق يصل إلى 1100 درجة مئوية مع التحكم في الضغط بقوة 15 ميجا باسكال. مثالي للتلبيد ونمو البلورات والأبحاث المعملية. حلول قابلة للتخصيص متاحة.
فرن أنبوبي كوارتز مختبري أنبوبي التسخين RTP
يوفر فرن أنبوب التسخين السريع RTP من KINTEK تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة، وتسخينًا سريعًا يصل إلى 100 درجة مئوية/ثانية، وخيارات جو متعددة الاستخدامات للتطبيقات المعملية المتقدمة.
فرن الأنبوب الدوَّار الأنبوبي الدوَّار المحكم الغلق بالتفريغ المستمر
فرن أنبوبي دوّار دقيق للمعالجة المستمرة بالتفريغ. مثالي للتكلس والتلبيد والمعالجة الحرارية. قابل للتخصيص حتى 1600 درجة مئوية.
ماكينة KINTEK MPCVD للماس: تركيب الماس عالي الجودة بتقنية MPCVD المتقدمة. نمو أسرع، ونقاء فائق، وخيارات قابلة للتخصيص. زيادة الإنتاج الآن!
أجراس تفريغ عالية الأداء لتوصيل فعال وتفريغ مستقر في الأنظمة
نافذة مراقبة KF فائقة التفريغ عالية التفريغ مع زجاج البورسليكات العالي لرؤية واضحة في البيئات الصعبة 10^-9 تور. شفة متينة من الفولاذ المقاوم للصدأ 304.
موليبدينوم ديسيلبيد الموليبدينوم MoSi2 عناصر التسخين الحراري للفرن الكهربائي
عناصر تسخين MoSi2 عالية الأداء للمختبرات، تصل درجة حرارتها إلى 1800 درجة مئوية مع مقاومة فائقة للأكسدة. قابلة للتخصيص ومتينة وموثوقة للتطبيقات ذات درجات الحرارة العالية.
مجموعة ختم القطب الكهربي للتفريغ بشفة CF KF شفة التفريغ الكهربائي لأنظمة التفريغ
مغذي قطب تفريغ شفة CF/KF موثوق به لأنظمة التفريغ عالية الأداء. يضمن إحكامًا فائقًا وموصلية ومتانة فائقة. خيارات قابلة للتخصيص متاحة.
صمام إيقاف كروي كروي عالي التفريغ من الفولاذ المقاوم للصدأ 304 316 لأنظمة التفريغ
تضمن صمامات التفريغ الكروية والصمامات الحابسة المصنوعة من الفولاذ المقاوم للصدأ 304/316 من KINTEK إحكامًا عالي الأداء للتطبيقات الصناعية والعلمية. استكشف الحلول المتينة والمقاومة للتآكل.
آلة فرن الضغط الساخن الفراغي آلة فرن الضغط الساخن المسخنة بالفراغ
فرن الكبس الساخن بالتفريغ من KINTEK: تسخين وكبس دقيق لكثافة فائقة للمواد. قابل للتخصيص حتى 2800 درجة مئوية، مثالي للمعادن والسيراميك والمواد المركبة. استكشف الميزات المتقدمة الآن!
آلة فرن أنبوب CVD متعدد مناطق التسخين الذاتي CVD لمعدات ترسيب البخار الكيميائي
توفر أفران KINTEK الأنبوبية متعددة المناطق CVD الأنبوبية تحكمًا دقيقًا في درجة الحرارة لترسيب الأغشية الرقيقة المتقدمة. مثالية للبحث والإنتاج، وقابلة للتخصيص لتلبية احتياجات مختبرك.