يمتد نطاق الضغط لأنظمة التفريغ القابل للذوبان القابل للذوبان من الضغط الجوي (760 تور) إلى مستويات تفريغ عالية (أقل من 5 ملي تور)، ويتم تحقيق ذلك من خلال المضخات الميكانيكية والتحكم في صمام الخانق.تُظهر هذه الأنظمة تعدد الاستخدامات عبر التطبيقات الصناعية، من الإلكترونيات إلى الفضاء، مع إدارة دقيقة لتدفق الغاز (0-500 sccm) والتحكم في درجة الحرارة حتى 1700 درجة مئوية اعتمادًا على مادة الأنبوب.وتضعها قدرات التفريغ في فئة أفران التفريغ العالي (10^-3 إلى 10^-6 تور)، وهي مناسبة لاحتياجات معالجة المواد المتنوعة.
شرح النقاط الرئيسية:
-
نطاق الضغط وآلية التحكم
- يعمل من 0-760 تور (الضغط الجوي إلى شبه التفريغ)
- يستخدم صمام الخانق لتنظيم الضغط القابل للتعديل
- تفريغ قاعدة التفريغ <5 mTorr يتحقق عن طريق المضخات الميكانيكية
- مصنفة على أنها أنظمة أفران عالية التفريغ (نطاق 10^-3 إلى 10^-6 تور)
-
التوافق مع درجة الحرارة ومواد الأنبوب
- أنابيب الكوارتز:1200 درجة مئوية كحد أقصى (مثالية لعمليات التفكيك القابل للذوبان القابل للذوبان القياسي)
- أنابيب الألومينا:يمتد إلى 1700 درجة مئوية للتطبيقات ذات درجات الحرارة العالية
- يعتمد الاختيار على توافق المواد (على سبيل المثال، الجرافين مقابل الطلاء الخزفي)
-
تدفق الغاز والتحكم في العملية
- قنوات غاز مزدوجة (Ar/H₂) مع معدلات تدفق 0-500 sccm
- تضمن أجهزة التحكم في التدفق الكتلي توصيل المواد المتفاعلة بدقة
- تحافظ الأنظمة المحوسبة على توزيع حراري موحد
-
التطبيقات الصناعية
- الإلكترونيات:طلاء رقاقات أشباه الموصلات
- الطاقة:طبقات مضادة للانعكاس في الألواح الشمسية
- المواد المتقدمة:إنتاج الغرافين لشاشات العرض/ترشيح المياه
-
مرونة التصميم
- يستوعب أنابيب كوارتز مقاس 1 بوصة و2 بوصة
- يدعم المعالجة المجمعة للسبائك الصلبة/السيراميك عن طريق التلبيد بالتفريغ
هل تساءلت يومًا كيف تمكّن نطاقات الضغط الدقيقة هذه من توفير طلاءات رقيقة بحجم النانومتر على شاشات هاتفك الذكي؟ إن التآزر بين التحكم في التفريغ واستقرار درجة الحرارة يسمح لأنظمة التفريغ القابل للذرة بترسيب المواد ذرة بذرة، مما يحدث ثورة في الصناعات بهدوء بدءًا من الإلكترونيات الاستهلاكية إلى الطاقة المستدامة.
جدول ملخص:
| الميزة | المواصفات |
|---|---|
| نطاق الضغط | 0-760 تور (من الغلاف الجوي إلى شبه الفراغ) |
| التفريغ الأساسي | <5 مللي طن متري (فئة الفرن عالي التفريغ) |
| نطاق درجة الحرارة | حتى 1700 درجة مئوية (يعتمد على مادة الأنبوب) |
| التحكم في تدفق الغاز | 0-500 sccm (قنوات الغاز المزدوجة) |
| التطبيقات | الإلكترونيات والطاقة والمواد المتقدمة |
| مرونة التصميم | يدعم أنابيب الكوارتز مقاس 1 بوصة و2 بوصة |
أطلق العنان لإمكانيات المعالجة الدقيقة للمواد مع أنظمة KINTEK المتقدمة للتفريغ القابل للتحويل إلى سيرفود! سواء كنت تقوم بطلاء رقاقات أشباه الموصلات أو إنتاج الجرافين، فإن أفراننا عالية التفريغ توفر تحكمًا وتخصيصًا لا مثيل له.وبالاستفادة من خبرتنا الداخلية في مجال البحث والتطوير والتصنيع، نقدم حلولاً مصممة خصيصًا لتلبية احتياجاتك التجريبية الفريدة. اتصل بنا اليوم لمناقشة كيف يمكن لأنظمتنا CVD أن ترفع من قدرات مختبرك!
المنتجات التي قد تبحث عنها:
اكتشف أنظمة ترسيب الماس للأبحاث المتطورة
اكتشف عناصر التسخين المتينة للتطبيقات ذات درجات الحرارة العالية
قم بترقية فرنك بعناصر تسخين MoSi2 عالية الأداء
