نظام نظام ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما يدعم أحجام الرقاقات حتى 6 بوصات، كما أكدت مراجع متعددة.يستوعب هذا الحجم القياسي مختلف احتياجات ترسيب الأغشية الرقيقة مع تحقيق التوازن بين كفاءة العملية وقابلية توسع المعدات.يتماشى تصميم النظام، بما في ذلك القطب السفلي المسخّن بقطر 205 مم، مع سعة الرقاقة هذه، مما يتيح طلاءات موحدة لأشباه الموصلات والبصريات وتطبيقات الأغشية العازلة.
شرح النقاط الرئيسية:
-
الحد الأقصى لحجم الرقاقة المدعوم
- يتعامل النظام مع الرقاقات حتى 6 بوصات (150 مم) في القطر، وهو حجم شائع للأبحاث والإنتاج على نطاق تجريبي.
- هذه السعة مذكورة صراحةً عبر ثلاثة مراجع مستقلة، مما يضمن الموثوقية.
-
توافق تصميم المعدات
- القطب القطب السفلي 205 مم (أكبر من الرقاقة 6\") يضمن توزيعًا متساويًا للبلازما والتحكم في درجة الحرارة أثناء الترسيب.
- A منفذ ضخ 160 مم يحافظ على ظروف تفريغ متسقة ضرورية لتوحيد جودة الفيلم.
-
مزايا المعالجة ل 6\"الرقائق
- ترسيب بدرجة حرارة منخفضة (ممكّن بواسطة PECVD) يمنع الإجهاد الحراري على الرقائق الكبيرة.
- برنامج زيادة المعلمات التحكم الدقيق في خصائص الرقاقة عبر سطح الرقاقة بالكامل.
-
التطبيقات النموذجية
- أشباه الموصلات:ترسيب الطبقات العازلة القائمة على السيليكون.
- التعبئة والتغليف:الأغشية العازلة للغازات للأغذية/المستحضرات الصيدلانية (على سبيل المثال، الحماية من الأكسجين/الرطوبة).
- البصريات/الطلاءات:الكربون الشبيه بالماس (DLC) لمقاومة التآكل.
-
اعتبارات قابلية التوسع
- في حين أن 6 \" هو الحد الأقصى المشار إليه، يمكن أيضًا معالجة الرقاقات الأصغر حجمًا (على سبيل المثال، 4 \") باستخدام النظام نفسه.
- يمكن أيضًا معالجة جراب الغاز المكون من 12 خطًا تدعم الغازات السليفة المتنوعة للأغشية المصممة خصيصًا دون تغيير الأجهزة.
بالنسبة للإنتاج بكميات كبيرة، يجب على المستخدمين التحقق مما إذا كانت الأنظمة الأكبر حجمًا (على سبيل المثال، 8 \" أو 12 \")، حيث يركز هذا النموذج على تعدد الاستخدامات لتلبية الاحتياجات متوسطة الحجم.إن الجمع بين الأقطاب الكهربائية المسخنة والتحكم في الغاز وتوحيد البلازما يجعلها مثالية للنماذج الأولية أو الطلاءات المتخصصة.
جدول ملخص:
| الميزة | المواصفات |
|---|---|
| الحد الأقصى لحجم الرقاقة | 6 بوصات (150 مم) |
| حجم القطب السفلي | 205 مم (يضمن توزيعًا موحدًا للبلازما) |
| منفذ الضخ | 160 مم (يحافظ على ثبات التفريغ) |
| التطبيقات الرئيسية | أشباه الموصلات والأغشية العازلة والطلاءات البصرية (مثل DLC) |
| قابلية التوسع | متوافق مع الرقائق الأصغر حجمًا (على سبيل المثال، 4\") وغازات السلائف المتنوعة |
قم بترقية قدرات ترسيب الأغشية الرقيقة في مختبرك باستخدام أنظمة KINTEK المتقدمة PECVD! حلولنا المصممة بدقة، بما في ذلك أفران أنابيب PECVD الأنبوبية الدوارة المائلة لضمان طلاءات موحدة للرقائق مقاس 6 بوصة وما بعدها.وبالاستفادة من البحث والتطوير الداخلي والتخصيص العميق، نقوم بتصميم أنظمة مصممة خصيصًا لتلبية احتياجاتك بالضبط - سواءً لأبحاث أشباه الموصلات أو الطلاءات البصرية أو الأغشية العازلة. اتصل بخبرائنا اليوم لمناقشة متطلبات مشروعك!
المنتجات التي قد تبحث عنها
استكشاف الصمامات المتوافقة مع التفريغ لأنظمة PECVD عرض نوافذ المراقبة ذات درجة الحرارة العالية لمراقبة العملية اكتشاف أفران PECVD الدوارة لترسيب الأغشية الرقيقة المنتظمة
