تم تصميم نظام PECVD (الترسيب الكيميائي المحسّن بالبلازما بالبخار الكيميائي) لترسيب الأغشية الرقيقة بكفاءة مع ميزات تحكم متقدمة.وتشمل المواصفات الرئيسية تسخين الحجرة عند 80 درجة مئوية، ومولدات الترددات اللاسلكية المزدوجة (30/300 واط) والترددات المنخفضة (600 واط، 50-460 كيلو هرتز)، ونظام تفريغ الهواء بسرعات عادم عالية.يدعم النظام مناولة الركيزة حتى 460 مم، ويوفر التحكم في درجة الحرارة من 20 درجة مئوية إلى 400 درجة مئوية (قابلة للتمديد إلى 1200 درجة مئوية)، ويتضمن ميزات مثل تبديل الترددات اللاسلكية للتحكم في الضغط وتنظيف البلازما في الموقع.تصميمها المدمج وواجهة الشاشة التي تعمل باللمس والتشغيل الموفر للطاقة يجعلها مناسبة لمختلف التطبيقات الصناعية.
شرح النقاط الرئيسية:
-
توليد الطاقة والتحكم في البلازما
- مولدات الترددات اللاسلكية:خيارات 30 واط و300 واط للتحكم الدقيق في البلازما.
- مولد التردد المنخفض:: وحدة الحالة الصلبة بقدرة 600 واط تعمل بتردد 50-460 كيلو هرتز لتعزيز مرونة الترسيب.
- إنشاء البلازما:يستخدم التفريغ بالترددات اللاسلكية، أو التيار المتردد، أو التيار المستمر لتأيين الغاز، مما يتيح تفاعلات بدرجة حرارة منخفضة.تعرف على المزيد عن نظام ترسيب البخار الكيميائي المعزز بالبلازما .
-
تصميم الغرفة والقطب الكهربائي
- جدران الغرفة المسخنة:الحفاظ على درجة حرارة 80 درجة مئوية لظروف ترسيب مستقرة.
- أحجام الأقطاب الكهربائية:: خيارات 240 مم و460 مم، تدعم رقاقات يصل قطرها إلى 460 مم.
- نطاقات درجات الحرارة:يقوم القطب السفلي بتسخين الركائز من 20 درجة مئوية إلى 400 درجة مئوية (اختياري 1200 درجة مئوية للعمليات ذات درجات الحرارة العالية).
-
نظام التفريغ
- تكوين المضخة:مضخة ريشة دوارة ذات مرحلتين (160 لتر/دقيقة) مقترنة بمضخة جزيئية يتم التحكم فيها TC75.
- سرعات العادم:: 60 لتر/ثانية للنيتروجين، و55 لتر/ثانية مع شبكة واقية.
- نسب الضغط:: 2×10⁷ ل N₂، 3×10³ ل H₂، مع ضغط خلفي أقصى يبلغ 800 باسكال.
-
التحكم في الغاز والمعالجة
- جراب الغاز:نظام مكون من 12 خطًا مزودًا بخطوط للتحكم في التدفق الكتلي (MFC) لتوصيل الغاز بدقة.
- المنشطات والسلائف:يدعم العديد من المواد المخدرة والسلائف السائلة للحصول على خصائص غشاء مصممة خصيصًا.
- البرمجيات:زيادة المعلمة لإجراء تعديلات آلية على المعالجة.
-
ميزات التشغيل
- تبديل الترددات اللاسلكية:يضبط مستويات الضغط في الأغشية المودعة.
- التنظيف في الموقع:يقلل تنظيف البلازما مع اكتشاف نقطة النهاية من وقت التعطل.
- واجهة شاشة تعمل باللمس:تحكم متكامل لسهولة الاستخدام.
-
كفاءة الطاقة والإنتاجية
- انخفاض درجات الحرارة التشغيلية يقلل من استهلاك الطاقة.
- تعمل معدلات الترسيب الأسرع والتصميم المدمج على تعزيز الإنتاجية.
-
الصيانة والمتانة
- محامل السيراميك:مشحّم بالشحم مع عمر افتراضي يبلغ 20,000 ساعة.
- تبريد بالهواء القسري:يضمن الأداء المستقر أثناء التشغيل الممتد.
تسلط هذه المواصفات الضوء على تعدد استخدامات النظام في البحث والإنتاج، وتوازن بين الدقة والكفاءة والتشغيل السهل الاستخدام.
جدول ملخص:
| الميزة | المواصفات |
|---|---|
| توليد الطاقة | مولدات الترددات اللاسلكية المزدوجة (30 واط/300 واط) + الترددات المنخفضة (600 واط، 50-460 كيلو هرتز) |
| تسخين الغرفة | جدران 80 درجة مئوية، تسخين الركيزة (20 درجة مئوية - 400 درجة مئوية، قابلة للتمديد إلى 1200 درجة مئوية) |
| نظام التفريغ | مضخة دوارة 160 لتر/دقيقة + مضخة جزيئية TC75، سرعة عادم 60 لتر/ثانية (N₂) |
| التحكم في الغاز | حجرة غاز MFC مكونة من 12 خطًا للمواد المُنشِّطة/السلائف |
| الميزات التشغيلية | تبديل ضغط الترددات اللاسلكية، تنظيف البلازما في الموقع، واجهة شاشة تعمل باللمس |
| كفاءة الطاقة | تشغيل بدرجة حرارة منخفضة وتصميم مدمج ومعدلات ترسيب أسرع |
قم بترقية مختبرك بنظام PECVD عالي الأداء!
بالاستفادة من البحث والتطوير المتقدم في KINTEK والتصنيع الداخلي، توفر أنظمة PECVD الخاصة بنا ترسيبًا دقيقًا للأغشية الرقيقة مع ميزات قابلة للتخصيص للتطبيقات البحثية والصناعية.سواء كنت بحاجة إلى إمكانات درجات الحرارة العالية أو التحكم الآلي في الغاز أو حلول الإنتاجية المدمجة، فإن أنظمتنا مصممة لتلبية احتياجاتك.
اتصل بنا اليوم
لمناقشة كيف يمكننا تحسين عمليات الترسيب الخاصة بك!
المنتجات التي قد تبحث عنها
صمامات تفريغ عالية التفريغ لأنظمة PECVD
نوافذ المراقبة لغرف التفريغ
الأفران الأنبوبية الدوارة PECVD
عناصر تسخين عالية الحرارة
