تم تصميم مواصفات التبريد لمبرد مياه PECVD للحفاظ على ظروف التشغيل المثلى للنظام.ويتميز المبرد بمعدل تدفق يبلغ 10 لترات في الدقيقة (لتر/دقيقة)، واستهلاك طاقة يبلغ 0.1 كيلوواط، ويضمن بقاء درجة حرارة مياه التبريد أقل من 37 درجة مئوية.وتعد هذه المواصفات ضرورية للحفاظ على استقرار وكفاءة عملية PECVD، خاصةً في إدارة الحمل الحراري المتولد أثناء الترسيب.كما تكمل أجهزة النظام، بما في ذلك أحجام الأقطاب الكهربائية وقدرات التعامل مع الركيزة، متطلبات التبريد لضمان أداء ثابت.
شرح النقاط الرئيسية:
-
معدل التدفق (10 لتر/دقيقة)
- يضمن معدل تدفق مبرد المياه البالغ 10 لتر/الدقيقة دورانًا كافيًا لتبديد الحرارة المتولدة أثناء عملية PECVD.
- تتم معايرة هذا المعدل لمطابقة الحمل الحراري للنظام، مما يمنع ارتفاع درجة الحرارة ويحافظ على استقرار العملية.
- هل فكرت كيف يمكن أن تؤثر الاختلافات في معدل التدفق على انتظام الترسيب أو طول عمر المعدات؟
-
استهلاك الطاقة (0.1 كيلو واط)
- تعكس متطلبات الطاقة المنخفضة البالغة 0.1 كيلوواط كفاءة الطاقة لنظام التبريد.
- هذه المواصفات مناسبة بشكل خاص للمنشآت التي تهدف إلى تقليل التكاليف التشغيلية مع الحفاظ على دقة التبريد.
- إن تكامل هذه الأنظمة الفعالة هو السمة المميزة لماكينات ماكينات hfcvd الحديثة التصميمات
-
درجة حرارة مياه التبريد (<37 درجة مئوية)
- الحفاظ على درجة حرارة مياه التبريد أقل من 37 درجة مئوية أمر بالغ الأهمية لمنع الإجهاد الحراري على مكونات PECVD.
- تضمن هذه العتبة تشغيل النظام ضمن الحدود الحرارية الآمنة، وتجنب تلف الأجزاء الحساسة مثل أقطاب الترددات اللاسلكية أو خطوط الغاز.
- كيف يمكن أن تؤثر تقلبات درجة الحرارة المحيطة في منشأتك على أداء التبريد هذا؟
-
التكامل مع أجهزة PECVD
- يدعم نظام التبريد ميزات الأجهزة مثل أحجام الأقطاب الكهربائية (حتى 460 مم) ومعالجة الركيزة، والتي تولد حرارة كبيرة أثناء التشغيل.
- تتماشى مواصفات المبرد مع نطاق درجة حرارة مرحلة الرقاقة (20 درجة مئوية - 400 درجة مئوية، قابلة للتمديد إلى 1200 درجة مئوية)، مما يضمن التوافق عبر ظروف المعالجة.
-
استقرار العملية وكفاءتها
- من خلال الحفاظ على تبريد ثابت، يساعد النظام في تحقيق معدلات ترسيب موحدة وجودة غشاء موحد، خاصة في عمليات مثل التنظيف بالبلازما في الموقع.
- وتدعم مواصفات التبريد بشكل غير مباشر ميزات أخرى، مثل تبديل الترددات اللاسلكية للتحكم في الضغط وخطوط الغاز التي يتم التحكم في تدفقها الشامل.
تُعد معلمات التبريد هذه أساسية لموثوقية نظام PECVD، وتمكين التقنيات التي تشكل أشباه الموصلات المتقدمة وتصنيع الأغشية الرقيقة بهدوء.هل يتطلب الإعداد التشغيلي الخاص بك تبريدًا إضافيًا زائدًا عن الحاجة للعمليات ذات درجات الحرارة العالية؟
جدول ملخص:
| المواصفات | القيمة | الأهمية |
|---|---|---|
| معدل التدفق | 10 لتر/دقيقة | يضمن تبديد حرارة كافية لمنع السخونة الزائدة. |
| استهلاك الطاقة | 0.1 كيلوواط | يقلل استخدام الطاقة المنخفض من تكاليف التشغيل مع الحفاظ على دقة التبريد. |
| درجة حرارة مياه التبريد | <37°C | يمنع الإجهاد الحراري لمكونات PECVD للحصول على موثوقية طويلة الأجل. |
قم بترقية كفاءة التبريد في مختبرك باستخدام مبرد المياه PECVD المصمم بدقة من KINTEK.تضمن حلول التبريد المتقدمة لدينا، المدعومة بالبحث والتطوير والتصنيع الداخليين، تشغيل عملياتك ذات درجات الحرارة العالية بسلاسة.سواءً كنت بحاجة إلى أنظمة تبريد قياسية أو مخصصة، فإننا نقدم لك الموثوقية والأداء. اتصل بنا اليوم لمناقشة متطلباتك الخاصة!
المنتجات التي قد تبحث عنها
اكتشف نوافذ المراقبة عالية التفريغ لمراقبة العمليات
اكتشف الصمامات الحابسة الكروية المتينة لتفريغ الهواء من أجل سلامة النظام
قم بالترقية باستخدام مغذيات أقطاب كهربائية دقيقة للتطبيقات عالية الطاقة
